Термическое напыление

При испарении из тигля с резистивным нагревателем или из лодочки достоинством является относительная простота систем питания и физики процесса. Хорошо подходит для испарения в вакууме органики и других теплочувствительных материалов для фотовольтаики. Электронно-лучевое испарение универсально по материалам и обеспечивает высокий контроль для промышленных применений.

Существенным отличием термического испарения от других способов PVD напыления является необходимость испарять снизу вверх. Это требование возникает из-за наличия жидкого металла в области испарения.

edback