Описание

Установка имеет цилиндрическую вакуумную диаметром 300 мм, длиной 400 мм, изготовленную из нержавеющей стали марки AISI 304. Корпус вакуумной камеры охлаждается проточной водой. Для загрузки/выгрузки образцов вакуумная камера оснащена водоохлаждаемой дверью на шарнире, соединяемой вакуумноплотно с вакуумной камерой при помощи эластичного уплотнения. Слева и справа на цилиндрической части камеры расположены фланцы CF40 для установки оптических окон из селенида цинка (спектральный диапазон 0,6 – 20 мкм).

Сверху на цилиндрической части вакуумной камеры расположены фланцы KF40 для установки ручного клапана напуска атмосферного воздуха и датчика измерения давления (Pfeiffer Vacuum, PKR 251). На задней поверхности вакуумной камеры приварены водоохлаждаемые патрубки диаметром 63 и 100 мм для подключения вакуумного турбомолекулярного поста (Pfeiffer Vacuum HiCube Eco-80) и ввода ручного линейного перемещения переднего нагревателя соответственно. Камера отсекается от вакуумного турбомолекулярного поста при помощи ручного клапана. Снизу на цилиндрической части вакуумной камеры расположен фланец ISO180 для установки основного нагревателя-подложкодержателя. Все внутренние поверхности установки черненые. Коэффициент излучения (степень черноты) 0,93.

Основной нагреватель-подложкодержатель размером 40 х 120 мм изготовлен из молибдена. Имеется возможность установки на нагреватель-подложкодержатель двух образцов – с передней и задней сторон. В качестве нагревательного элемента использована фехралевая нить марки GS 23-5 (аналог Х23Ю5Т). Рабочая температура до 1000 0С, равномерность нагрева на площади 40 х 95 (центральная часть нагревателя) не хуже 0,5%. Подвод мощности и поддержание заданной температуры производится измерителем регулятором программным ТРМ251. Нагреватель-подложкодержатель расположен на высокоточном вакуумном вводе вращения. Привод осуществляется шаговым двигателем FL57STH41-2804AG30, управление – программируемым блоком управления шаговым двигателем SMSD-4.2. Минимальный угловой шаг вращения нагревателя – не более 0,5 град. Предусмотрена возможность установки «нулевого» положения и ограничения вращения по оптическим датчикам.

Термовакуумная камера для проведения измерений индикатрис
Модель Термовакуумная камера для проведения измерений индикатрис

Технические характеристики

Размер исследуемого образца, мм 40*95*1…5
Диапазон нагрева АЧТ и образца, °С 20-1000
Равномерность нагрева образцов, % 0,5
Предельный вакуум, торр 1*10-5
Диаметр оптического окна, мм 40
Спектральный диапазон, мкм 0,6-20
Равномерность температуры внутренней стенки, % 0,5
Индикация ЖК дисплеи, монитор компьютера
Охлаждение Воздушное + водяное
Электропитание 220 В 50 Гц
Установленная мощность не более 5,5 кВт
Масса установки не более 200 кг
Габаритный размер Д*Ш*В 900*1100*1600 мм