Вакуумная установка термического испарения - EPOS-PVD-TERMO-5

Описание

Отличительные особенности установки:

• Криогенная высоковакуумная откачка, предельный вакуум 10^-7 торр, температура первой ступени не выше 65-70 К (для конденсации водяных паров и «тяжелых» газов), температура второй ступени не выше 12 К (для конденсации азота, кислорода и аргона), удержание гелия, водорода и неона за счет криоадсорбции на активированном угле;
• Визуальный контроль начала и конца процесса испарения исходных материалов (фиксирование начала и конца испарения);
• Контроль температуры источника и подложки;
• Регулировка тока испарителей автоматически по временной диаграмме;
• Измерение плотности потока испаряемого вещества ионизационными датчиками;
• Измерение толщины покрытий, с контролем ресурса датчика толщины покрытий;
• Четыре термических испарителя (поочередное напыление 4-х материалов за один технологический цикл);
• Установка до 6-и подложек диаметром 100 мм на съемный подложкодержатель, вращаемый шаговым двигателем;
• Регистрация положения подложкодержателя по оптическим датчикам с точностью позиционирования до 1 мм;
• Очистка подложки ионным источником в мягком режиме, без повреждения структуры на подложке с возможностью ионного ассистирования.

          При изготовлении установок мы используем комплектующие от ведущих мировых производителей вакуумного оборудования.

Технические характеристики