Назначение и область применения

Устройство, предназначенное для изменения сечение канала (разделения пространства) и регулировки массы (объема) проходящего по нему вещества. Применяются в PVD технологиях для ограничения потока прекурсора, защиты стекол от запыления и др. Возможно поворотное или шиберное исполнение. Рабочая среда – вакуум, управление заслонками осуществляется со стороны атмосферы. Управление ручное, опционально – пневматическое. Предусмотрена возможность водяного охлаждения заслонки. Освоено мелкосерийное производство.

Вакуумная заслонка