Установка для нанесения упрочняющих и декоративных покрытий предназначена для нанесения покрытий на инструмент, детали машин, фурнитуру для мебели, дверей, сантехники и пр.
Скачать полное описание
Нанесение упрочняющих покрытий на основе титана и других металлов (и их нитридов, оксидов и карбидов благодаря подаче реакционного газа) производится способом конденсации вещества на поверхность инструмента в вакууме с ионной бомбардировкой (метод КИБ).
Упрочняемый инструмент устанавливается в вакуумную камеру на вращающемся столе, который приводится в движение специальным механизмом. Загрузка изделий в камеру производится через дверцу.
Для установки напыляемых изделий возможно применение специальной оснастки, которая может быть разработана по запросу потребителя.
Установка вакуумно-дугового напыления состоит из вакуумной камеры, оснащенной дверью, двумя дуговыми источниками, электродуговым ионизатором, системы размещения образцов, системы откачки, блоков питания и системы управления.
Камера выполнена в виде вертикального сосуда с боковым проемом и дверцей для загрузки изделий. Корпус выполнен с двойными стенками, образующими полость водоохлаждения или подогрева при откачке камеры. Дверца выполнена так же с двойными стенками для водяного охлаждения. В дверце имеется окно для визуального контроля работы электродугового ионизатора и испарителя.
Стол для образцов содержит планетарный механизм и электромеханический привод, состоящий из асинхронного электродвигателя и червячного редуктора. Частота вращения двигателя регулируется частотным преобразователем. В центре вала имеется гнездо для установки изделия по центру камеры. Если шестерня стола не установлена (снята), то изделие можно установить на вал и оно будет вращаться только вокруг его оси. На стол устанавливается экран на изоляторах, который защищает стол от перегрева и облегчает чистку установки.
Электродуговой ионизатор служит для очистки (травления) поверхности изделий пучком энергичных ионов.
Испарение металла производится с помощью электродуговых испарителей. Для предохранения узлов испарителей от перегрева используется система водяного охлаждения, которая питается водой от магистрали, давление в которой должно быть не менее 0,2 МПа.
Для ускорения обезгаживания внутренней поверхности камеры предусмотрен прогрев корпуса и крышки камеры горячей водой путем принудительной циркуляции воды по замкнутому контуру.
Нагрев воды осуществляется с помощью электрического водонагревателя с контролем температуры.
Вакуум создается в камере с помощью вакуумной системы, размещенной сзади камеры на раме.
Система состоит из форвакуумного насоса, диффузионного паромасляного насоса, вакуумных клапанов с электромеханическим приводом, вакуумного затвора с электромеханическим приводом и датчиков контроля давления в рабочей камере.
Для получения покрытий нитридов титана и других материалов, получаемых благодаря реакционному газу, в установке предусмотрена система напуска рабочих газов. Система напуска состоит из электромагнитных клапанов и ручных регулируемых натекателей.
Электроснабжение установки производится от трехфазной сети напряжением 380 В, цепи управления питаются напряжением 220 В. С установкой поставляются источники для питания испарителей.
Для обеспечения безаварийной и безопасной работы на установке предусмотрен широкий набор алгоритмов блокировки и защиты оборудования, что наряду со средствами автоматизации снижает требования к обслуживающему персоналу.
Технические характеристики
Размеры рабочей камеры (⌀×В), мм | 610×550 |
Количество сателлитов стола, шт. | 12 |
Диаметр расположения сателлитов, мм | 320 |
Остаточное давление в камере, Па | 6,5·10-3—6,5·10-1 |
Температура прогрева камеры, °С | 60—80 |
Толщина покрытия, мкм | 5—20 |
Длительность рабочего цикла, мин | до 90 |
Установленная мощность, кВА | 70 |
Питающее напряжение, В | 3×380 |
Расход охлаждающей воды, м3/ч | 1,5 |
Масса установки, кг | 2000 |
