clock
Заказать звонок Мы вам перезвоним

Ионно-лучевое устройство - EPOS-END-HALL

Назначение

 

          Ионно-лучевое устройство (ИЛУ, ионный источник, ионная пушка) типа «End-Hall» применяется для очистки подложек и ассистирования в процессе напыления тонких пленок. Высокая плотность ионного пучка позволяет производить качественную очистку поверхности подложек и ионное ассистирование при вакуумном напылении. При этом ограниченная энергия ионов позволяет избежать разрушения подложки или напыляемого слоя.

Подробное описание оборудования

Скачать полное описание Скачать полное описание

 

Описание

 

          Ионный источник выполнен по типу «End-Hall» с вольфрамовой нитью нейтрализатора, предназначен для внутрикамерного монтажа.

 

          Конструкция ионного источника обеспечивает его легкую и быструю разборку, что удобно при обслуживании.

 

          По запросу ионный источник может быть смонтирован на фланце и укомплектован необходимыми вакуумными вводами.

 

Технические характеристики

 

Габаритные размеры источника, мм

115×115×115

Ток разряда, А

0—3

Напряжение разряда, В

70—400

Средняя энергия пучка ионов, % от напряжения разряда

70—95

Угол раскрытия пучка, град

80

Полный ионный ток, % от тока разряда

до 40

Материал нейтрализатора

вольфрамовая нить

Охлаждение

жидкостное

Газовое кольцо

есть

 

Скачать полное описание