Ионно-лучевое устройство (ИЛУ, ионный источник, ионная пушка) типа «End-Hall» применяется для очистки подложек и ассистирования в процессе напыления тонких пленок. Высокая плотность ионного пучка позволяет производить качественную очистку поверхности подложек и ионное ассистирование при вакуумном напылении. При этом ограниченная энергия ионов позволяет избежать разрушения подложки или напыляемого слоя.
Скачать полное описание
Ионный источник выполнен по типу «End-Hall» с вольфрамовой нитью нейтрализатора, предназначен для внутрикамерного монтажа.
Конструкция ионного источника обеспечивает его легкую и быструю разборку, что удобно при обслуживании.
По запросу ионный источник может быть смонтирован на фланце и укомплектован необходимыми вакуумными вводами.
Технические характеристики
Габаритные размеры источника, мм | 115×115×115 |
Ток разряда, А | 0—3 |
Напряжение разряда, В | 70—400 |
Средняя энергия пучка ионов, % от напряжения разряда | 70—95 |
Угол раскрытия пучка, град | 80 |
Полный ионный ток, % от тока разряда | до 40 |
Материал нейтрализатора | вольфрамовая нить |
Охлаждение | жидкостное |
Газовое кольцо | есть |
