clock
Заказать звонок Мы вам перезвоним

Термические испарители

Подробное описание оборудования

Скачать полное описание Скачать полное описание

Микроисточник паров металлов и полупроводников - EPOS-MEP-1200

Микроисточник паров металлов и полупроводников

 

          Термический испаритель экстра класса со сменными тиглями малого объёма собственной разработки. Тигли выполнены из вакуумплотной корундовой керамики высокой чистоты марки КВПТ, которая не вступает в реакцию с испаряемыми веществами. Испаритель обеспечивает равномерный тонкий поток паров испаряемого вещества. Корпус испарителя изготовлен из молибдена, оснащается крышкой, закрывающей объем сверхвысокого вакуума и тепловым экраном из тантала.

 

          Максимальная рабочая температура испарителя составляет свыше 1200°С, что позволяет использовать испаритель для широкого круга материалов, в частности, Si, Au, Cu, Ge. Источник крепится к вакуумной камере посредством быстроразъёмного фланца.

Система оснащена заслонкой, позволяющей начинать испарение в нужный момент времени. Положение заслонки регулируется высоковакуумным вводом вращения с использованием сильфона и фиксацией положения заслонки.

 

Описание

 

          Испаритель размещен на манипуляторе с трех компонентной прецизионной системой позиционирования. Ввод линейного передвижения осуществляется с использованием мягкого сварного сильфона. Возможность передвижения до 50 мм (опционально возможно изменение длины перемещения). Предусмотрена регулировка положения испарителя относительно оси фланца.

 

          Для питания испарителя используется высококачественные электрические вакуумные вводы. Все уплотнения выполнены по стандарту CF на медных прокладках, что улучшает вакуумные условия и позволяет работать источнику в широком диапазоне температур.

 

          Данный микроисточник адаптирован под особенности конструкции уникальной экспериментальной установки в ИФП СО РАН. Источник применен в составе исследовательского оборудования – сверхвысоковакуумного отражательного электронного микроскопа. Специально для этой установки адаптирована конструкция стыковки со шлюзовой камерой микроскопа и система ввода испарителя в камеру микроскопа.

 

Микроисточник паров металлов и полупроводников

 

Технические характеристики

 

 

Мощность нагревателя тигля, Вт - 70;

Максимальная температура нагрева тигля, °С - 1200;

Материал тигля - КВПТ;

Система перемещения источника - наличие.

 

Ленточные испарители-лодочки

 

Ленточные испарители-лодочки

 

          Изготавливаем ленточные испарители из молибдена, тантала или вольфрама с различными формами углубления – полусферическим, желобковым, в виде лодочки или коробчатого типа. Так же поставляем сильноточные вакуумные электрические вводы испарителей с водяным или принудительным воздушным охлаждением и источники питания для резистивных испарителей.

Низкотемпературный испаритель органических соединений -  EPOS-OE-169

Низкотемпературный испаритель органических соединений

 

          Низкотемпературный испаритель органических соединений собственной разработки VSE-OE-169 предназначен для OLED технологий.

 

Описание

 

          Испаритель имеет защищённый от прямого воздействия испаряемого материала нагреватель. Внутри размещается термопара, что позволяет контролировать температуру с точностью до 0,1°С. Испаритель легко демонтируется и разбирается для обслуживания (чистка, замена нити и т.д.). Система крепления и позиционирования направленности распыления обеспечивает выставление положения источника по трем координатам с точностью до 0,5 мм.

 

          Тигель легко вставляется/извлекается благодаря специальному быстроразъёмному механизму с фиксатором. Из-за отсутствия прямого контакта тигля с высокотемпературной частью нагревателя отсутствует сплавление тигля с опорой и стенками испарителя.

 

Технические характеристики

 

Мощность испарителя, Вт - 400;

Объем загружаемого вещества, см3 - 2,2;

Температура нагрева, °С - до 500.