Настольная вакуумная установка магнетронного напыления - EPOS-PVD-DESK

Описание

          Простота использования настольной установки сочетается с высоким качеством получаемых покрытий за счёт автоматизации управления вакуумной системой и процесса напыления. Высокая повторяемость результатов позволяет получать серии образцов с заданными свойствами. Установка предусматривает возможность нанесения различных типов металлов и диэлектриков как на твёрдые, так и на дисперсные образцы. Толщина покрытий от десятков нанометров до нескольких микрон.

          Для оптимизации процесса напыления в малом объёме разработана специальная конструкция вакуумной камеры, выполненной из нержавеющей стали и обеспечивающей распыление сверху вниз. Прозрачное окно на передней части камеры позволяет визуально контролировать процесс осаждения покрытий, а съемный верхний фланец предусматривает возможность установки дополнительного магнетрона и ионного источника на месте двух портов. Имеется специальный фланец для установки датчика толщины покрытий.

          Магнетрон с заслонкой выполнен на фланце в стандарте ISO100 с возможностью регулировки высоты расположения мишени относительно фланца. Мощность разряда до 1,5 кВт, однородность наносимых покрытий  ±10%.

Важные преимущества установки:

• диапазон плавного регулирования выходной средней мощности – от 0,1 до 3 кВт;
• подложкодержатель с шаговым двигателем и оптическими датчиками обеспечивает точность положения до 0,5 мм. Количество подложек диаметром 90 мм – 4 шт.;
• ввод вращения в вакуум с дифференциальной откачкой;
• подача газа осуществляется непосредственно через магнетрон (опция);
• предусмотрена возможность измерения толщины покрытия (опция);
• устройство нагрева подложкодержателя (опция);
• передача данных и управление через ПК (опция);
• комплектующие от ведущих мировых производителей.

          Система управления установкой – полуавтоматическая. Реализована на программируемом контроллере с управлением откачкой, потоками газов, электромагнитными клапанами, шаговым двигателем, технологическими источниками питания. Наличие системы блокировок по потоку воды и по допустимому вакууму. Имеется цветной сенсорный экран.

Особенности установки:

• Полностью безмасляная откачка обеспечивает высокую чистоту осаждаемых покрытий;
• Прозрачное окно на передней части камеры позволяет визуально контролировать процесс осаждения покрытий;
• Диаметр нераспыляемой центральной части магнетрона минимизирован;
• Простота использования сочетается с высоким качеством получаемых покрытий;
• Высокая повторяемость результатов позволяет получать серии образцов с заданными свойствами.

Технические характеристики

Скачать полное описание