clock
Заказать звонок Мы вам перезвоним

Настольная вакуумная установка магнетронного напыления - EPOS-PVD-DESK

Назначение

 

          Для отработки технологии магнетронного напыления металлических и диэлектрических покрытий на твердые и дисперсные образцы предлагаем Вам настольную вакуумную установку EPOS-PVD-DESK.

          Установка предназначена для:

- Отработки технологий нанесения покрытий;

- Проведения научных исследований в областях материаловедения, приборостроения, электроники, нанесения оптических покрытий, микромеханических устройств и др.

- Оптимальна для целей и задач учебного процесса ВУЗов.

Подробное описание оборудования

Скачать полное описание Скачать полное описание

Описание

 

          Простота использования настольной установки сочетается с высоким качеством получаемых покрытий за счёт автоматизации управления вакуумной системой и процесса напыления. Высокая повторяемость результатов позволяет получать серии образцов с заданными свойствами. Установка предусматривает возможность нанесения различных типов металлов и диэлектриков как на твёрдые, так и на дисперсные образцы. Толщина покрытий от десятков нанометров до нескольких микрон.

 

          Для оптимизации процесса напыления в малом объёме разработана специальная конструкция вакуумной камеры, выполненной из нержавеющей стали и обеспечивающей распыление сверху вниз. Прозрачное окно на передней части камеры позволяет визуально контролировать процесс осаждения покрытий, а съемный верхний фланец предусматривает возможность установки дополнительного магнетрона и ионного источника на месте двух портов. Имеется специальный фланец для установки датчика толщины покрытий.

 

          Магнетрон с заслонкой выполнен на фланце в стандарте ISO100 с возможностью регулировки высоты расположения мишени относительно фланца. Мощность разряда до 1,5 кВт, однородность наносимых покрытий  ±10%.

 

Важные преимущества установки:

  • диапазон плавного регулирования выходной средней мощности – от 0,1 до 3 кВт;
  • подложкодержатель с шаговым двигателем и оптическими датчиками обеспечивает точность положения до 0,5 мм. Количество подложек диаметром 90 мм – 4 шт.;
  • ввод вращения в вакуум с дифференциальной откачкой;
  • подача газа осуществляется непосредственно через магнетрон (опция);
  • предусмотрена возможность измерения толщины покрытия (опция);
  • устройство нагрева подложкодержателя (опция);
  • передача данных и управление через ПК (опция);
  • комплектующие от ведущих мировых производителей.

          Система управления установкой – полуавтоматическая. Реализована на программируемом контроллере с управлением откачкой, потоками газов, электромагнитными клапанами, шаговым двигателем, технологическими источниками питания. Наличие системы блокировок по потоку воды и по допустимому вакууму. Имеется цветной сенсорный экран.

Особенности установки:

  • Полностью безмасляная откачка обеспечивает высокую чистоту осаждаемых покрытий;
  • Прозрачное окно на передней части камеры позволяет визуально контролировать процесс осаждения покрытий;
  • Диаметр нераспыляемой центральной части магнетрона минимизирован;
  • Простота использования сочетается с высоким качеством получаемых покрытий;
  • Высокая повторяемость результатов позволяет получать серии образцов с заданными свойствами.

Настольная вакуумная установка магнетронного напыленияНастольная вакуумная установка магнетронного напыления

Технические характеристики

 

Габаритный размер (Д×Ш×В), мм

1050×700×670

Предельный вакуум, мбар

10-6

Однородность наносимых покрытий, %

±5

Количество магнетронов

1 DC, 2 DC (опционально),

1 DC + 1 RF (опционально)

Ионный источник

1 (опционально)

Источник питания магнетронов

согласно типу магнетронов

Количество одновременно загружаемых образцов

4 образца 90 мм или 6 образцов 70 мм

Тип распыляемого материала

металлы или диэлектрики (опционально)

Возможность ионного ассистирования

да (опционально)

Точность позиционирования подложки, мм

не хуже 0,5

Охлаждение

воздушное+водяное

Максимальная рабочая температура внешней поверхности вакуумной камеры, °С

не выше +40

Параметры электропитания

380 В, 50 Гц

Установленная мощность, кВт

не более 2

Масса установки, кг

87


 

Скачать полное описание