clock
Заказать звонок Мы вам перезвоним

Многофункциональная установка напыления тонких пленок - EPOS‐PVD‐E-Mag

Назначение

 

          Установка EPOS‐PVD‐E-Mag – это многофункциональная вакуумная установка напыления тонких пленок, предназначенная для воспроизводимого получения качественных нанометровых и микронных твердых пленок из металлов, оксидов и диэлектриков.

Подробное описание оборудования

Скачать полное описание Скачать полное описание

Описание:

 

          Универсальность установки в полной комплектации определяется разнообразием способов напыления: термического, электронно-лучевого и магнетронного. Благодаря этому установка популярна в научно-исследовательской деятельности в сферах материаловедения, приборостроения, оптики, нанотехнологий и многих других.

 

          Многофункциональность установки EPOSPVDE-Mag подразумевает широкий выбор элементов и систем непосредственно для Ваших нужд и задел для модернизации установки, что позволит Вам дополнять и расширять Ваши производственные возможности в будущем.

 

          На каждом из этапов, высококвалифицированные специалисты «ЭПОС-Инжиниринг» помогут Вам:

  • Подберут наилучшую комплектацию для получения пленок из интересующих Вас материалов и требуемых параметров;
  • Разработают устройство позиционирования подложек с необходимой точностью;
  • Разработают оснастку для загрузки необходимого количества Ваших подложек;
  • Обеспечат вращение и обогрев/охлаждение подложкодержателя;
  • Оснастят необходимыми измерительными приборами;
  • Снабдят подходящими откачными системами;
  • Автоматизируют рабочий процесс для удобства работы с установкой;
  • Обеспечат доставку и обучение (онлайн/оффлайн).

          Более 5 установок EPOSPVDE-Mag было продано с 2018 года на территории СНГ. Например, установка работает на нескольких факультетах ФГБОУ ВО «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники», в НИУ «Московский энергетический институт» и др.

Особенности установки:

  • Возможность изменения расстояния между подложкодержателем и источниками позволяет достигать требуемой равномерности напыления и состава пленок при заданных толщинах;
  • Прецизионная система газоподачи через кольцо в область напыления позволяет получать пленки высокой чистоты из оксидов металлов;
  • Обеспечение позиционирования подложек напротив источника с помощью шагового двигателя;
  • Индивидуальный нагрев подложек автоматически стабилизируется и рост температуры может быть запрограммирован до 650°С;
  • Возможность оснащения кварцевым датчиком измерения толщины пленок и термопарой с точностью до 1°С.

          Многофункциональная PVD установка EPOSPVDE-Mag имеет вакуумную камеру, оснащенную четырьмя фланцами для установки технологических источников напыления. Возможна установка термического испарителя-лодочки, DC и RF магнетронов, ионного источника очистки и ассистирования, электронно-лучевого испарителя. Установка оснащена вращающимся подложкодержателем с системой нагрева подложек и заслонкой.

Технические характериктики: 

 

Характеристики базовой комплектации EPOSPVDE-Mag с опциями

Входное напряжение, ф/В/Гц

3/380/50

Максимальная потребляемая мощность, кВт

9 (с электронно-лучевым испарителем и нагревом подложек).

Источник питания магнетронов

2-канальный DC источник питания 1500 Вт – 1 шт.
Опционально: 3х-канальный.
Опционально: 3000 Вт.
Опционально питание ВЧ 13,56 МГц с автоматическим согласующим устройством.

Магнетроны

Магнетрон DC-RF с мишенью 3” (75 мм) – 1 шт.:

  • охлаждение: водяное – от 2 л/мин;
  • ручная заслонка;
  • регулируемая высота до 120 мм.

Опционально может быть снабжен газовым кольцом для подачи газа непосредственно в область разряда
Опционально: до 2-х Магнетронов DC-RF + 1 ионный источник

ОПЦИЯ: Электронно-лучевой испаритель (ЭЛИ) с источником питания

Катодный узел легкосъемный с поворотом луча на 270°.
Корпус водоохлаждаемый, материал медь.
Наличие настраиваемой фокусировки луча.
Гибкие высоковольтные вакуумные вводы для накала.
Опционально: система электромагнитного отклонения луча.

ОПЦИЯ: Система термического напыления

Тугоплавкая лодочка на охлаждаемых электрических вводах. Программируемая стабилизация тока в лодочке.

Вакуумная камера

Материал: нержавеющая сталь.
Форма камеры: D-образная.
Размеры: длина – 400 мм; ширина – 400 мм; высота – 450 мм.
Прозрачное смотровое окно диаметром 100 мм с защитным стеклом.
Большая дверца с регулировкой прижатия.
Подставка для камеры со съемными защитно-декоративными панелями.
Наличие 3х фланцев ISO 100, фланцы «болт», KF40 и др.
Возможность установки 2х магнетронов и ЭЛИ, либо 3х магнетронов и системы термического напыления.
Опционально: автоматическая заслонка источников.
Опционально: дополнительные фланцы – по согласованию.

Подложкодержатель

Диаметр 370 мм.
Область поддерживаемой однородности – 70 мм.
Подъем столика до 60 мм.
Регулировка скорости вращения в диапазоне от 1 до 20 об/мин.
Позиционирование подложек шаговым двигателем.
Четыре позиции контролируются по оптическим датчикам с точностью 1 мм.
Нагрев 0 ÷ 350 °С. Контролируется ПИД-регулятором с обратной связью по термопаре
Согласованный термопарный ввод К типа.

Опционально: Нагрев до 650 °С.

Регулятор расхода газа и газовая магистраль

3 канала подачи чистых газов (аргон, кислород, азот, …) содержат электронные регуляторы расхода газа и отсечные клапаны;

Вакуумная система

Максимальный уровень вакуума: 10-4 Па.

  • Высокоэффективный безмасляный турбомолекулярный насос;
  • спиральный или пластинчато-роторный насос;
  • высоковакуумные клапаны обеспечивают байпасную откачку и отсечение турбомолекулярного насоса;
  • широкодиапазонный вакуумметр.

ОПЦИЯ: Водяное охлаждение

Промышленная установка охлаждения жидкости (чиллер) CSW производства ATS S.r.l.

ОПЦИЯ: Контроль толщины покрытий

  1. Один прецизионный датчик толщины покрытий с точностью 0,1 Å
  2. Интегрирован в систему управления установкой
    3. Связь с компьютером по RS485, USB
    4. База с напыляемыми материалами
    5. Отображение толщины покрытия на кристалле и скорости напыления
    6. 10 запасных кристаллов
    7. Водяное охлаждение
    Опционально: заслонка датчика

 

 

Скачать полное описание