Установка EPOS‐PVD‐E-Mag – это многофункциональная вакуумная установка напыления тонких пленок, предназначенная для воспроизводимого получения качественных нанометровых и микронных твердых пленок из металлов, оксидов и диэлектриков.
Универсальность установки в полной комплектации определяется разнообразием способов напыления: термического, электронно-лучевого и магнетронного. Благодаря этому установка популярна в научно-исследовательской деятельности в сферах материаловедения, приборостроения, оптики, нанотехнологий и многих других.
Многофункциональность установки EPOS‐PVD‐E-Mag подразумевает широкий выбор элементов и систем непосредственно для Ваших нужд и задел для модернизации установки, что позволит Вам дополнять и расширять Ваши производственные возможности в будущем.
На каждом из этапов, высококвалифицированные специалисты «ЭПОС-Инжиниринг» помогут Вам:
Более 5 установок EPOS‐PVD‐E-Mag было продано с 2018 года на территории СНГ. Например, установка работает на нескольких факультетах ФГБОУ ВО «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники», в НИУ «Московский энергетический институт» и др.
Многофункциональная PVD установка EPOS‐PVD‐E-Mag имеет вакуумную камеру, оснащенную четырьмя фланцами для установки технологических источников напыления. Возможна установка термического испарителя-лодочки, DC и RF магнетронов, ионного источника очистки и ассистирования, электронно-лучевого испарителя. Установка оснащена вращающимся подложкодержателем с системой нагрева подложек и заслонкой.
Технические характериктики:
Характеристики базовой комплектации EPOS‐PVD‐E-Mag с опциями |
|
Входное напряжение, ф/В/Гц |
3/380/50 |
Максимальная потребляемая мощность, кВт |
9 (с электронно-лучевым испарителем и нагревом подложек). |
Источник питания магнетронов |
2-канальный DC источник питания 1500 Вт – 1 шт. |
Магнетроны |
Магнетрон DC-RF с мишенью 3” (75 мм) – 1 шт.:
Опционально может быть снабжен газовым кольцом для подачи газа непосредственно в область разряда |
ОПЦИЯ: Электронно-лучевой испаритель (ЭЛИ) с источником питания |
Катодный узел легкосъемный с поворотом луча на 270°. |
ОПЦИЯ: Система термического напыления |
Тугоплавкая лодочка на охлаждаемых электрических вводах. Программируемая стабилизация тока в лодочке. |
Вакуумная камера |
Материал: нержавеющая сталь. |
Подложкодержатель |
Диаметр 370 мм. Опционально: Нагрев до 650 °С. |
Регулятор расхода газа и газовая магистраль |
3 канала подачи чистых газов (аргон, кислород, азот, …) содержат электронные регуляторы расхода газа и отсечные клапаны; |
Вакуумная система |
Максимальный уровень вакуума: 10-4 Па.
|
ОПЦИЯ: Водяное охлаждение |
Промышленная установка охлаждения жидкости (чиллер) CSW производства ATS S.r.l. |
ОПЦИЯ: Контроль толщины покрытий |
|