Установка предназначена для:
Области применения: авиационная промышленность, космическая индустрия, энергетическое машиностроение, медицина и др.
Установка оснащена электронно-лучевой пушкой с максимальной энергией пучка 150 кэВ и током пучка до 200 мА.
Система водяного охлаждения на каждой грани вакуумной камеры надежно защищает от перегрева – возможен суммарный отвод до 35 кВт тепловой энергии.
Специальная конструкция стенок вакуумной камеры, фланцевых соединений, вводов в камеру, иллюминаторов для наблюдения и других конструктивных элементов обеспечивает защиту от рентгеновского излучения, образующегося при взаимодействии электронного пучка с коллектором.
Управление установкой предусмотрено в ручном и полуавтоматическом режиме. Управляющая программа реализована на базе современных программно-аппаратных средств. Включает в себя систему блокировок, кросс-бокс с гальваническими развязками. Предусматривает отображение мнемосхемы процесса на дисплее и возможность управления всей запорной арматурой, вакуумной системой, отображением параметров вакуума.
Возможность работы в широком диапазоне энергий пучка и давлений в камере даёт перспективы использования различных источников и режимов (скорости плавления и пр.).
Уникальной особенностью данной установки является прецизионный трехкоординатный манипулятор (диапазон перемещений 400×400×400 мм с точностью позиционирования 0,05 мм) для проведения экспериментов с различными материалами (вес образца до 200 кг). Манипулятор обеспечивает перемещение изделия, размещенного на его столе, в трех взаимно перпендикулярных координатах (X, Y и Z).
Управление манипулятором реализовано на базе ПЛИС «Xilinx» для обеспечения перемещения в реальном времени с заданной скоростью.
Технические характеристики
Внутренние габариты вакуумной камеры, мм | 1080×1080×1080 |
Количество дверей на направляющих, шт | 1 |
Тип манипулятора | трехкоординатоный, прецизионный |
Габариты манипулятора с учётом крайних положений стола, мм | 800×800×800 |
Размер стола, мм | 400×400 |
Диапазон перемещений стола в горизонтальной плоскости, мм | 360×360 |
Диапазон перемещения стола по вертикали, мм | 340 |
Максимальная скорость перемещения стола по каждой координате, см/с | 20 |
Точность позиционирования, мм | 0,5 |
Защита от рентгеновского излучения | наличие |
Максимальная энергия пучка, кэВ | 150 |
Максимальный ток пучка, мА | 200 |
Предельный вакуум, торр | 10-6 |
Рабочее давление, торр | 10-5—10-2 |
Система поддержания давления (в рабочем диапазоне) в камере | наличие |
Управление установки | С помощью спец. ПО |
Интерфейс связи с установкой | RS-232 |
Автоматизация откачной системы | наличие |
Габаритный размер (Ш×В×Д), мм | 2500×3000×4000 |
Масса установки, кг | не более 5000 |
Охлаждение | водяное |
Электропитание | 3-х фазное, 380 В±10%, 50 Гц±0,2% |
Установленная мощность, кВт | 15 |