Автоматизированная электронно-лучевая установка

Для генерации сфокусированного электронного пучка используется термокатодная электронно-лучевая пушка.

Назначение:

в промышленности: электронно-лучевая сварка, вакуумная резка, плавка, как металлов, так и неметаллических соединений (стекло, керамика, полимерные материалы и т.д.);
отработка новых (в том числе аддитивных) технологий;
в научных исследованиях, связанных со взаимодействием различных сред с электронными пучками;

Области применения:

авиационная промышленность,
космическая индустрия,
энергетическое машиностроение,
медицина и др.

Автоматизированная электронно-лучевая установка

Основные технические характеристики:

Максимальная энергия пучка 150 кэВ, ток 200 мА;
Стабилизация давления в вакуумной камере на заданном уровне в диапазоне от 10-6 до 10-2 Торр;
Система водяного охлаждения на каждой грани вакуумной камеры для защиты от перегрева (суммарный отвод тепловой энергии до 35 кВт);

Специальная конструкция стенок вакуумной камеры, фланцевых соединений, вводов в камеру, иллюминаторов для наблюдения и других конструктивных элементов обеспечивает защиту от рентгеновского излучения, образующегося при взаимодействии электронного пучка с коллектором;
Управление установкой предусмотрено в ручном и полуавтоматическом режиме. Унифицированная управляющая программа реализована на базе современных программно-аппаратных средств. Включает в себя систему блокировок, кросс-бокс с гальваническими развязками. Предусматривает отображение мнемосхемы процесса на дисплее с возможностью управления всей запорной арматурой, вакуумной системой, отображением параметров вакуума.

Возможность работы в широком диапазоне энергий пучка и давлений в камере даёт перспективы использования различных источников и режимов (скорости плавления и пр.)

Уникальной особенностью данной установки является прецизионный трехкоординатный манипулятор (диапазон перемещений 400х400х400мм, точность позиционирования 0.05 мм) для проведения экспериментов с различными материалами (вес образца до 200 кг). Манипулятор обеспечивает перемещение изделия, размещенного на его столе, в трех взаимно перпендикулярных координатах (X, Y и Z). Управление манипулятором реализовано на базе плис Xilinx для обеспечения перемещения в реальном времени с заданной скоростью.