Предназначен для испарения и дозированной подачи паров с газом-носителем спиртов и других легко-испаряемых жидкостей.
Основные характеристики:
Прогрев до температуры 200 0C. Объем контейнера прекурсоров 100 мл.
Материал контейнера и трасс -нержавеющая сталь.
Приварные фитинги Swagelok с торцевым уплотнением VCR обеспечивают высокочистые уплотнения типа металл–металл, сохраняя герметичность трасс, как в условиях вакуума, так и при положительном давлении. Высокотемпературный клапан Swagelok сильфонным уплотнением штока для перекрывания газового потока.