Универсальный микро источник паров металлов и полупроводников

Описание

Термический испаритель экстра класса со сменными тиглями малого объёма собственной разработки. Тигли выполнены из вакуумплотной корундовой керамики высокой чистоты марки КВПТ. Расчётная мощность тигля до 70 Вт. Керамика не вступает в реакцию с испаряемыми веществами. Испаритель обеспечивает равномерный поток испаряемого вещества. Корпус испарителя изготовлен из молибдена, оснащается крышкой, закрывающей объем сверхвысокого вакуума и тепловым экраном из тантала.

Рабочая температура свыше 1200 0С, что позволяет использовать испаритель для широкого круга материалов, в частности, Si, Au, Cu, Ge. Источник крепится к вакуумной камере посредством быстроразъёмного фланца.

Система оснащена заслонкой, позволяющей начинать испарение в нужный момент времени. Положение заслонки регулируется высоковакуумным вводом вращения с использованием сильфона и фиксацией положения заслонки.

Универсальный микро источник паров металлов и полупроводников
Испаритель расположен на манипуляторе с трех компонентной прецизионной системой позиционирования. Ввод линейного передвижения осуществляется с использованием мягкого сварного сильфона. Возможность передвижения до 50 мм (Опционально возможно изменение длины перемещения). Предусмотрена регулировка положения испарителя относительно оси фланца.
Для питания испарителя используется электрический вакуумный ввод фирмы CeramTec (США), выдерживающий напряжение до 2 кВ и ток до 16 А.
Все уплотнения выполнены по стандарту CF на медных прокладках, что улучшает вакуумные условия и позволяет работать источнику в широком диапазоне температур.
Данный микро источник адаптирован под особенности конструкции уникальной экспериментальной установки в ИФП СО РАН. Источник применен в составе исследовательского оборудования – сверхвысоковакуумного отражательного электронного микроскопа. Специально для этой установки адаптирована конструкция стыковки со шлюзовой камерой микроскопа и система ввода испарителя в камеру микроскопа.