Универсальный микро источник паров металлов и полупроводников
Описание
Термический испаритель экстра класса со сменными тиглями малого объёма собственной разработки. Тигли выполнены из вакуумплотной корундовой керамики высокой чистоты марки КВПТ. Расчётная мощность тигля до 70 Вт. Керамика не вступает в реакцию с испаряемыми веществами. Испаритель обеспечивает равномерный поток испаряемого вещества. Корпус испарителя изготовлен из молибдена, оснащается крышкой, закрывающей объем сверхвысокого вакуума и тепловым экраном из тантала.
Рабочая температура свыше 1200 0С, что позволяет использовать испаритель для широкого круга материалов, в частности, Si, Au, Cu, Ge. Источник крепится к вакуумной камере посредством быстроразъёмного фланца.
Система оснащена заслонкой, позволяющей начинать испарение в нужный момент времени. Положение заслонки регулируется высоковакуумным вводом вращения с использованием сильфона и фиксацией положения заслонки.
