Установка для измерения коэффициента вторичной электронной эмиссии – ВЭЭ.

Назначение и область применения

Явление испускания твёрдыми телами вторичных электронов при бомбардировке их пучком первичных электронов лежит в основе многих современных методов анализа поверхности. Энергетические спектры и угловые распределения вторичных электронов содержат достаточно полную информацию об основных микроскопических характеристиках поверхности – составе, структуре, электронном строении.

Также явление ВЭЭ лежит в основе принципа работы ряда электронных приборов, например, в фотоэлектронных умножителях, в электроннолучевых трубках с записью изображения в виде потенциального рельефа и в Оже-спектрометрах.

Разработанная нашей компанией установка для измерения коэффициента электронной эмиссии ВЭЭ и работы выхода электронов состоит из:

Установка для измерения коэффициента вторичной электронной эмиссии

вакуумной камеры из нержавеющей стали (ØхД 280 х 300 мм) с подставкой;
системы форвакуумной и высоковакуумной откачки на основе ТМН и магниторазрядного насоса (предельный вакуум - 5∙10-8 торр);
термокатодной электронной пушки с блоками питания (максимальная энергия - 3 кэВ, ток – до 6 мА);
коллектора электронов;
антидинатронной сетки;
нагреваемой мишени (до 600 0С);
системы измерения тока с мишени и с коллектора;
высоковольтного источника питания для изменения запирающего потенциала.

Управление установкой производится в ручном режиме при помощи блока управления установкой.

Технические характеристики

Внутренние габариты вакуумной камеры ø*Д, мм	280*300
Прогрев камеры, °С	100
Тип вакуумной откачки	ТМН, магниторазрядный насос
Предельный вакуум, торр	5*10^-8
Максимальная энергия, кэВ	3
Максимальный ток, мА	6
Охлаждение	Водяное
Электропитание	3 фазы, 380 В±10%, 50 Гц±0,2%
Установленная мощность, кВт	2
Габаритный размер ШВД, мм	12001550700
Масса установки, кг	не более 250