Установка для измерения коэффициента вторичной электронной эмиссии – ВЭЭ.
Назначение и область применения
Явление испускания твёрдыми телами вторичных электронов при бомбардировке их пучком первичных электронов лежит в основе многих современных методов анализа поверхности. Энергетические спектры и угловые распределения вторичных электронов содержат достаточно полную информацию об основных микроскопических характеристиках поверхности – составе, структуре, электронном строении.
Также явление ВЭЭ лежит в основе принципа работы ряда электронных приборов, например, в фотоэлектронных умножителях, в электроннолучевых трубках с записью изображения в виде потенциального рельефа и в Оже-спектрометрах.
Разработанная нашей компанией установка для измерения коэффициента электронной эмиссии ВЭЭ и работы выхода электронов состоит из:
Управление установкой производится в ручном режиме при помощи блока управления установкой.
Технические характеристики
Внутренние габариты вакуумной камеры ø*Д, мм | 280*300 |
Прогрев камеры, °С | 100 |
Тип вакуумной откачки | ТМН, магниторазрядный насос |
Предельный вакуум, торр | 5*10-8 |
Максимальная энергия, кэВ | 3 |
Максимальный ток, мА | 6 |
Охлаждение | Водяное |
Электропитание | 3 фазы, 380 В±10%, 50 Гц±0,2% |
Установленная мощность, кВт | 2 |
Габаритный размер Ш*В*Д, мм | 1200*1550*700 |
Масса установки, кг | не более 250 |

