Установка для измерения коэффициента вторичной электронной эмиссии – ВЭЭ.

Назначение и область применения

Явление испускания твёрдыми телами вторичных электронов при бомбардировке их пучком первичных электронов лежит в основе многих современных методов анализа поверхности. Энергетические спектры и угловые распределения вторичных электронов содержат достаточно полную информацию об основных микроскопических характеристиках поверхности – составе, структуре, электронном строении.

Также явление ВЭЭ лежит в основе принципа работы ряда электронных приборов, например, в фотоэлектронных умножителях, в электроннолучевых трубках с записью изображения в виде потенциального рельефа и в Оже-спектрометрах.

Разработанная нашей компанией установка для измерения коэффициента электронной эмиссии ВЭЭ и работы выхода электронов состоит из:

Установка для измерения коэффициента ВЭЭ
  • вакуумной камеры из нержавеющей стали (ØхД 280 х 300 мм) с подставкой;
  • системы форвакуумной и высоковакуумной откачки на основе ТМН и магниторазрядного насоса (предельный вакуум - 5∙10-8 торр);
  • термокатодной электронной пушки с блоками питания (максимальная энергия - 3 кэВ, ток – до 6 мА);
  • коллектора электронов;
  • антидинатронной сетки;
  • нагреваемой мишени (до 600 0С);
  • системы измерения тока с мишени и с коллектора;
  • высоковольтного источника питания для изменения запирающего потенциала.

Управление установкой производится в ручном режиме при помощи блока управления установкой.

Технические характеристики

Внутренние габариты вакуумной камеры ø*Д, мм 280*300
Прогрев камеры, °С 100
Тип вакуумной откачки ТМН, магниторазрядный насос
Предельный вакуум, торр 5*10-8
Максимальная энергия, кэВ 3
Максимальный ток, мА 6
Охлаждение Водяное
Электропитание 3 фазы, 380 В±10%, 50 Гц±0,2%
Установленная мощность, кВт 2
Габаритный размер Ш*В*Д, мм 1200*1550*700
Масса установки, кг не более 250
Установка для измерения коэффициента ВЭЭ
Установка для измерения коэффициента ВЭЭ