Установка для работы с электронными высокоэнергетическими пучками.
Для генерации сфокусированного электронного пучка здесь используется электронно-лучевая пушка.
Назначение:
Области применения:
Основные технические характеристики:



Управление установкой предусмотрено в ручном и полуавтоматическом режиме. Унифицированная управляющая программа реализована на базе современных программно-аппаратных средств . Включает в себя систему блокировок, кросс-бокс с гальваническими развязками. Предусматривает отображение мнемосхемы процесса на дисплее и возможность управления всей запорной арматурой, вакуумной системой, отображением параметров вакуума.
Возможность работы в широком диапазоне энергий пучка и давлений в камере даёт перспективы использования различных источников и режимов (скорости плавления и пр.)
Уникальной особенностью данной установки является прецизионный трехкоординатный манипулятор (диапазон перемещений 400х400х400мм, точность позиционирования 0.05 мм) для проведения экспериментов с различными материалами (вес образца до 200кг). Манипулятор обеспечивает перемещение изделия, размещенного на его столе, в трех взаимно перпендикулярных координатах (X, Y и Z).
Управление манипулятором реализовано на базе плис Xilinx для обеспечения перемещения в реальном времени с заданной скоростью.
Технические характеристики
Внутренние габариты вакуумной камеры, мм | 1080*1080*1080 |
Количество дверей на направляющих, шт | 1 |
Тип манипулятора | Трехкоординатоный, прецизионный |
Габариты манипулятора с учётом крайних положений стола, мм | 800*800*800 |
Размер стола, мм | 400*400 |
Диапазон перемещений стола в горизонтальной плоскости, мм | 360*360 |
Диапазон перемещения стола по вертикали, мм | 340 |
Максимальная скорость перемещения стола по каждой координате, см/с | 20 |
Точность позиционирования, мм | 0,5 |
Защита от рентгеновского излучения | Наличие (максимальная энергия пучка 150 кэВ, 200 мА) |
Предельный вакуум, торр | 10-6 |
Рабочее давление, торр | От 10-5 до 10-2 |
Система поддержания давления (в рабочем диапазоне) в камере | Наличие |
Управление установки | С помощью спец. ПО |
Интерфейс связи с установкой | RS-232 |
Автоматизация откачной системы | Наличие |
Габаритный размер Ш*В*Д, мм | 2500*3000*4000 |
Масса установки, кг | Не более 5 тонн |
Охлаждение | Водяное |
Электропитание | 3 фазы, 380 В±10%, 50 Гц±0,2% |
Установленная мощность, кВт | 15 |