Установка для работы с электронными высокоэнергетическими пучками.

Для генерации сфокусированного электронного пучка здесь  используется электронно-лучевая пушка.

Назначение:

  • в промышленности: электронно-лучевая сварка, вакуумная резка, плавка как металлов, так и неметаллических соединений (стекло, керамика, полимерные материалы и т.д.).
  • отработка новых (в том числе аддитивных) технологий
  • в научных исследованиях, связанных со взаимодействием различных сред и электронных пучков

Области применения:

  • авиационная промышленность, космическая индустрия, энергетическое машиностроение, медицина и др.

Основные технические характеристики:

  • Максимальная энергия пучка 150 кэВ, ток 200 мА.
  • Стабилизация давления в вакуумной камере на заданном уровне в диапазоне 10^(-6) Торр до 10^(-2) Торр
  • Система водяного охлаждения на каждой грани вакуумной камеры для защиты от перегрева: суммарный отвод до 35 кВт тепловой энергии.
  • Специальная конструкция стенок вакуумной камеры, фланцевых соединений, вводов в камеру, иллюминаторов для наблюдения и других конструктивных элементов обеспечивает защиту от рентгеновского излучения, образующегося при взаимодействии электронного пучка с коллектором.
Установка для работы с электронными высоко энергетическими пучками
Установка для работы с электронными высоко энергетическими пучками
Панель управления Установка для работы с электронными высоко энергетическими пучками
Управление установкой предусмотрено  в ручном и полуавтоматическом режиме. Унифицированная управляющая программа реализована на базе современных программно-аппаратных средств . Включает в себя систему блокировок, кросс-бокс с гальваническими развязками. Предусматривает отображение мнемосхемы процесса на дисплее и возможность управления всей запорной арматурой, вакуумной системой, отображением параметров вакуума.
Возможность работы в широком диапазоне энергий пучка и давлений в камере даёт перспективы использования различных источников и режимов (скорости плавления и пр.)
Уникальной особенностью данной установки является прецизионный трехкоординатный манипулятор (диапазон перемещений 400х400х400мм, точность позиционирования 0.05 мм) для проведения экспериментов с различными материалами (вес образца до 200кг). Манипулятор обеспечивает перемещение изделия, размещенного на его столе, в трех взаимно перпендикулярных координатах (X, Y и Z).
Управление манипулятором реализовано на базе плис Xilinx для обеспечения перемещения  в реальном времени с заданной скоростью.

Технические характеристики

Внутренние габариты вакуумной камеры, мм  1080*1080*1080
 Количество дверей на направляющих, шт  1
 Тип манипулятора  Трехкоординатоный, прецизионный
 Габариты манипулятора с учётом крайних положений стола, мм  800*800*800
 Размер стола, мм  400*400
 Диапазон перемещений стола в горизонтальной плоскости, мм  360*360
 Диапазон перемещения стола по вертикали, мм  340
 Максимальная скорость перемещения стола по каждой координате, см/с  20
 Точность позиционирования, мм  0,5
 Защита от рентгеновского излучения  Наличие (максимальная энергия пучка 150 кэВ, 200 мА)
 Предельный вакуум, торр  10-6
 Рабочее давление, торр  От 10-5 до 10-2
 Система поддержания давления (в рабочем диапазоне) в камере  Наличие
 Управление установки  С помощью спец. ПО
 Интерфейс связи с установкой  RS-232
 Автоматизация откачной системы  Наличие
 Габаритный размер Ш*В*Д, мм  2500*3000*4000
 Масса установки, кг  Не более 5 тонн
 Охлаждение  Водяное
 Электропитание  3 фазы, 380 В±10%, 50 Гц±0,2%
 Установленная мощность, кВт  15