Установка конфокального магнетронного напыления – VSE-PVD-75-B

Назначение

Для реализации технологии нанесения металлических и диэлектрических покрытий на образцы методом магнетронного распыления в вакууме предлагаем Вам установку VSE-PVD-75-B.

Установка предназначена для мелкосерийного производства, а также для R&D.

Отличительные возможности установки:

  • Верхняя секция вакуумной камеры выполнена в виде подъемного цилиндра на электромеханическом подъемнике, что обеспечивает всесторонний, удобный доступ к образцам и технологическому оборудованию;
  • Полностью безмасляная откачка обеспечивает высокую чистоту осаждаемых покрытий;
Установка конфокального магнетронного напыления
  • Диаметр нераспыляемой центральной части магнетрона минимизирован;
  • Простота использования сочетается с высоким качеством получаемых покрытий;
  • Высокая адгезия покрытия к подложке за счет нагрева подложек и ионной очистки;
  • Магнетрон постоянного тока для осаждения металлов (с возможностью работы в импульсном режиме), один ВЧ магнетрон – для диэлектриков, ионный источник;
  • Подача газа осуществляется при помощи прецизионных регуляторов расхода газа (РРГ) в ионный источник и каждый магнетрон через газовое кольцо, что позволяет получать серии образцов с заданными свойствами и высокой повторяемостью характеристик;
  • Возможность наносить покрытия на объемные образцы (опционально).

Основные характеристики:

Размер подложки до 75 мм;
Нагрев подложки и точность поддержания температуры до 350±10С;
Расстояние от источников до подложки от 50 до 300 мм;
Предельный вакуум 10-7 мбар;
Установленная мощность не более 9 кВт;
Масса установки не более 400 кг;
Габаритный размер ДхШхВ 800х1500х1850 мм.

Опции:

  • Термический источник;
  • Протяженный магнетрон;
  • Прогрев или охлаждение вакуумной камеры;
  • Карусельная оснастка / оснастка для крепления объемных образцов;
  • Автоматизация технологического процесса "по одной кнопке" с возможностью сохранения технологических карт;
  • Криогенный насос на замкнутом цикле.

При изготовлении установок мы используем комплектующие от ведущих мировых производителей вакуумного оборудования.