При электронно-лучевом напылении испарение вещества происходит за счет поглощения им энергии пучка ускоренных электронов. Электронно-лучевые испарители позволяют получать высокие скорости осаждения покрытия и его большую толщину. Использование многотигельных электронно-лучевых испарителей позволяет увеличить количество процессов напыления за один цикл работы вакуумной установки.
Важная особенность электронно-лучевых испарителей – возможность нанесения тугоплавких материалов с высокой скоростью. Местный разогрев вещества электронным пучком позволяет защищать тигель от коррозии, загрязнения или испарения.
ООО «ЭПОС-Инжиниринг» производит одно- и шеститигельные электронно-лучевые испарители и производит поставку напылительных систем, укомплектованных ими. Установки могут быть сконфигурированы с использованием как стандартных комплектаций, так и по индивидуальному заказу для полного соответствия требованиям Заказчика.