Вакуумно-дуговая установка для нанесения толстых покрытий.

Назначение:

Вакуумно-дуговая установка предназначена для упрочняющих и износостойких покрытий, для нанесения покрытий на металлические материалы и непроводящие материалы.

Метод нанесения покрытия:

Покрытия наносятся методом КИБ (конденсация вещества с ионной бомбардировкой). Вследствие равномерного характера осаждения, при нанесении покрытия на инструменты из твердого сплава, не вызывает притупление острой кромки, следовательно, может с успехом использоваться для упрочнения даже мелкоразмерного инструмента.

Рис.  Действующее производство с вакуумными установками для нанесения металлов с плазменной активацией плазмотроном с полым катодом.

Особенности:

  • Возможность поочередного напыления не менее 4-х материалов за один технологический процесс;
  • Удобное визуальное фиксирование начала и конца испарения материалов  (3 окна);
  • Ток испарителя задается контроллером по временной диаграмме;
  • Очистка подложки осуществляется плазменным ионным источником без повреждения структуры;
  • Измерение плотности потока испаряемого вещества ионизационными датчиками.
Установка для нанесения упрочняющих покрытий фото

Рис. Вакуумные установки с плазменной ионной активацией для нанесения покрытий высокой твердости (Машиностроительный завод, Алтайский край)

Наносятся следующих типы покрытий: TiN; ZrN; TiAlN; CrN; CrTiN; AlTiCrN; TiCN; (Ti,Al)CN; алмазоподобные покрытия.

Рис. Вакуумные установки с плазменной ионной активацией

В установке реализовано принципиально новое устройство – плазменно-дуговой ионизатор с полым катодом, для очистки и активации поверхности.

Преимущества:

  • Использование установки с плазменной ионной активацией позволяет получить качество покрытий выше, чем полученных по традиционным технологиям упрочнения нитридом титана, и превосходящие по твердости карбиды вольфрама.
  • Применяются современные инверторные блоки питания, вакууметры, пирометры и т.д.
  • Все данные и схема технологического процесса выводятся на дисплей. Полная автоматизация процесса для уменьшения влияния человеческого фактора, увеличения производительности установки, снижения требований к квалификации оператора установки на серийном производстве продукта, снижения количества брака, создания и сохранения карт техпроцессов.
  • Для обеспечения безаварийной и безопасной работы на установке предусмотрены блокировки.
  • Установка быстро автоматически откачивается с атмосферы на высокий вакуум. Полное управление техпроцессом осуществляется посредством пользовательского интерфейса с возможностью записи и последующей загрузки сохранённых карт техпроцесса.
  • Для подачи и коммутации смеси реакционных газов с аргоном используется до трех прецизионных цифровых регуляторов расхода газа и электромагнитные клапаны. Полная автоматизация, с сохранением и воспроизведением последовательности действий технологических процессов.

Опциональное оснащение установок:

1.     Измерение, контроль толщины покрытий с контролем ресурса датчика толщины покрытий.  Для измерения толщины получаемых покрытий применен кварцевый измеритель с пневматической заслонкой;
2.     Прогреваемый подложкодержатель на вакуумном магнитном вводе вращения с шаговым двигателем и оптическими датчиками Нагрев подложек, с системой контроля и с системой блокировки на перегрев;
3.     Дополнительный нагрев Рабочая температура нагревателя -до 1000 С. Точность поддержания температуры  ±0,1 0С.;
4.     порт для подключения тепловизора дополнительные высоковольтные силовые разъёмы и термопары, систему подачи газов, а также полную автоматизированную систему управления с возможностью задания карт технологических процессов
5.     Прецизионный трехкоординатный манипулятор (диапазон перемещений 400х400х400мм, точность позиционирования 0.05 мм) для проведения экспериментов с различными материалами. Манипулятор обеспечивает перемещение изделия, размещенного на его столе, в трех взаимно перпендикулярных координатах (X, Y и Z). Управление манипулятором для обеспечения перемещения в реальном времени с заданной скоростью
6.     термостат с внешним контуром для проведения термоиспытаний
7.     спектральный оптический контроль  
8.     мощный источник бесперебойного питания позволяет завершить техпроцесс в случае отключения электропитания
edback