Назначение
Зонд Ленгмюра ЭПОС-ЛЗ (двойной или одиночный электростатический зонд) предназначен для определения локальных значений температуры и плотности плазмы.
Описание
Измеряется величина тока на электрод, помещенный в плазму, в зависимости от величины приложенного пилообразного напряжения, то есть определяется зондовая вольтамперная характеристика (ВАХ). ВАХ позволяет определить локальные, в области нахождения электрода, параметры невозмущенной плазмы. При помощи встроенного математического аппарата вычисляется плотность плазмы и оценивается ее температура на основе измеренной ВАХ.
Особенности
Если в плазму вводятся два малых одинаковых электрода на близком расстоянии, и напряжение подается между ними, зонд Ленгмюра работает в режиме двойного зонда. Такой режим установлен по умолчанию, он позволяет диагностировать параметры высокочастотной или нестационарной плазмы, практически не возмущая её, т.к. электроды полностью гальванически изолированы от разрядной камеры.
В режиме одиночного зонда пилообразное напряжение подается на электрод, который введен в плазму, относительно опорного электрода, которым может быть металлическая стенка разрядной камеры.
Допускается работа устройства без компьютера. В этом случае управление системой питания и измерениями осуществляется с передней панели блока, а регистрация ВАХ выполняется со встроенных гальванически развязанных выходов осциллографом или другим регистрирующим прибором.
Программа управления «Langmuir 2.0» совместимая с Windows обеспечивает удаленное управление блоком по сети Ethernet. Встроенный в Программу математический аппарат выполняет сглаживание данных с задаваемой пользователем полосой пропускания. Пользователь может выбрать параметры сортировки и сглаживания, мало искажающий внешний вид характеристики.
Методом наименьших квадратов формируются три прямых линии, аппроксимирующие поведение вольтамперной характеристики в центре при переходе через «ноль», и на краях, когда собираемый зондом ионный ток линейно растет с увеличением разности потенциалов. Вычисляется электронная температура и концентрация ионов.
Преимущество
Манипулятор позволяет осуществлять аксиальное и радиальное позиционирование датчика в пространстве рабочей камеры и определять распределение концентрации плазмы или оценивать ее однородность. Надежность, техническая простота, удобство контроля и регулирования режимов работы.
Комплектация
- • Манипулятор на вакуумном фланце с датчиком - 1 шт;
- • Измерительный блок – 1шт;
- • Блок питания и регистрации – 1шт;
- • Соединительные кабели комплект;
- • Паспорт и руководство по эксплуатации – 1шт.
- • Программное обеспечение «Langmuir 2.0» совместимое с Windows на флэш-носителе для автоматической записи и отображения данных – 1шт.
-
Блок питания/регистрации или перечисленные компоненты: измерительный блок, датчик, манипулятор на вакуумном фланце можно заказать отдельно!
Технические характеристики:
Наименование параметра | Значение |
Ход штока с контрольными измерительными электродами, мм | 300 |
Угол поворота штока с контрольными электродами, градус | 360 |
Материал электродов | вольфрам |
Фланец датчика | KF40, CF40 и др. |
Питающая сеть | ~ 230 В, 50 Гц |
Максимальная потребляемая мощность источника питания, Вт | 500 |
Амплитуда генерируемого сигнала, В | 1 - 100 |
Диапазон регулирования длительности генерируемого сигнала, мс | 0,1 - 8 |
Частота генерируемого сигнала, Гц | 100 |
Гальваническая изоляция электродов, кВ | 1,5 |
Корпус | 3U, 19” |
Масса оборудования, не более, кг | 50 |
Интерфейс удаленного управления | RJ-45 |
Протокол удаленного соединения | TCP/IP |