clock
Заказать звонок Мы вам перезвоним

Ленгмюровский зонд с системой питания и измерения

Назначение

 

          Зонд Ленгмюра ЭПОС-ЛЗ предназначен для локальной диагностики плазмы одиночным или двойным электрическим зондом.

Подробное описание оборудования

Скачать полное описание Скачать полное описание

Описание

 

          Электрический зонд – металлический электрод небольших размеров, который вводится в исследуемую часть плазмы. Через источник напряжения электрод подсоединяют к опорному электроду, которым может быть металлическая стенка разрядной камеры  (режим одиночного зонда) или другой электрод. Если в плазму вводятся два малых одинаковых электрода на близком расстоянии, и напряжение подается между ними, Зонд Ленгмюра работает в режиме двойного зонда.

 

ООО «ЭПОС-Инжиниринг» предлагает зонд Ленгмюра с системой питания и измерения.

 

          Измерения заключаются в регистрации зондового тока в зависимости от величины приложенного напряжения, т.е. определении зондовой вольтамперной характеристики (ВАХ). ВАХ позволяет определить локальные – в области нахождения зонда, параметры невозмущенной плазмы. При помощи математического аппарата можно получить на основе измеренной ВАХ плотность плазмы и оценить ее температуру. Присутствие в плазме пучков заряженных частиц может привести к существенному искажению ВАХ.

 

В состав комплекта зонда Ленгмюра EPOS-ЛЗ входит:

  • Система питания и измерения зонда Ленгмюра;
  • Датчик на вакуумном фланце;
  • Соединительный кабель;
  • Программное обеспечение для удаленного управления блоком по сети Ethernet и записи измеренных данных.

          Система питания и измерения зонда предназначена для проведения диагностики параметров плазмы с помощью двойного или одиночного электрического зонда Ленгмюра:

  • Позволяет генерировать одиночные и периодические импульсы пилообразного напряжения с заданной амплитудой, длительностью и частотой;
  • Гальванически изолированный выход пилообразного напряжения;
  • Одновременная регистрация тока и напряжения по гальванически изолированным каналам;
  • Возможность синхронизации от внешнего источника, циклического или ручного запуска.

          Датчик расположен на вакуумном фланце. Непосредственно с плазмой контактирует керамика Al2O3 (опционально – кварц) и вольфрамовый электрод.

Мы изготавливаем и поставляем следующие типы датчиков на фланце:

 

Датчик на манипуляторе с эластичным уплотнением

 

Датчик на манипуляторе с эластичным уплотнением

 

          Подходит для работы в высоком и низком вакууме. В базовом варианте есть возможность как линейного перемещения, так и вращения. Цена слабо зависит от величины перемещения. Максимальное перемещение (согласуется при заказе) до 1100 мм.

 

          Комплектуется шкалой для контроля величины перемещения.

 

          Вращение позволяет дополнительно сканировать по поперечной координате (согласуется при заказе).

 

          Тип фланца согласуется при заказе. Можно не только выбрать из стандартных типов фланцев, но также заказать зонд на нестандартном фланце к имеющейся камере, по эскизу заказчика.

 

          Опционально – дифференциальная откачка вакуумного ввода (показано на рисунке).

          Опционально – дополнительный фланец вакуумного ввода для возможности установки зонда на различные камеры.

 

Датчик на манипуляторе с сильфонным уплотнением

 

Датчик на манипуляторе с сильфонным уплотнением

 

          Подходит для работы в сверхвысоком вакууме. Цена существенно зависит от величины перемещения, возможности перемещений в поперечных координатах и вращения.

 

          Может комплектоваться устройством для перемещения с шаговым двигателем.

 

Датчик без манипулятора на фланце из нержавеющей стали.

 

Датчик без манипулятора на фланце из нержавеющей стали.

 

          Позволяет компактно установить небольшой датчик без перемещения.

 

Датчик без манипулятора на фитинге типа Swagelok.

 

Датчик без манипулятора на фитинге типа Swagelok

 

          Позволяет компактно установить небольшой датчик без перемещения на трубку. Например может устанавливаться на стеклянные или кварцевые вакуумные камеры в виде гребенки, как показано на рисунке.

Технические характеристики

 

Система питания и измерения

Конструктив корпуса  

стоечный, 19″

Максимальная амплитуда генерируемого сигнала, В

150

Диапазон регулирования длительности генерируемого сигнала, мс

0,1—8

Диапазон регулирования частоты генерируемого сигнала, Гц

1—100

Управление

  • цифровые индикаторы амплитуды, длительности, частоты на передней панели;
  • выбор амплитуды, длительности, частоты как по интерфейсу, так и на передней панели;
  • выбор способа запуска как по интерфейсу, так и с передней панели;
  • выбор и отображение диапазонов напряжения и тока как по интерфейсу, так и с передней панели

Протокол удаленного управления

TCP/IP

Зонд

Материал электрода

вольфрам

Материал изолятора

корунд или кварц (по запросу)

Манипулятор

  • с вакуумным вводом перемещения (до 1100 мм) и вращения на витоновом уплотнении с дифференциальной откачкой;
  • с сильфонным вакуумным вводом;
  • без манипулятора одноэлектродный;
  • без манипулятора многоэлектродный.

 

Управление системой зонда

          Допускается работа устройства без компьютера. В этом случае управление системой питания и измерения зонда Ленгмюра «EPOS-265» осуществляется с передней панели блока, а регистрация ВАХ выполняется с встроенных гальванически развязанных выходов осциллографом или другим регистрирующим прибором.

 

          Программа управления не требует инсталляции, все необходимые библиотеки находятся в рабочей директории программы. При переносе управления на другой компьютер достаточно просто скопировать содержимое рабочей директории.

 

          Удаленное управление блоком осуществляется по сети Ethernet, тип подключения – точка-в-точку, используются статические IP адреса.

 

Пример интерфейса программыПример измеренной ВАХ.

Пример интерфейса программы. Пример измеренной ВАХ.

 

Скачать полное описание