Модификации ЭЛИ с 1 тиглем:
EPOS-BEAM-1RND
КОМПАКТНЫЙ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ С ОДНИМ ТИГЛЕМ
Для разработки технологии одно- двух-компонентных покрытий.
Технические характеристики
Количество тиглей | 1 |
Расположение испарителя внутри камеры | произвольное |
Объём ячейки тигля | не менее 36 см3 |
Наибольшая энергия электронов, кэВ | 8 |
Наибольший ток электронного пучка, А | 1 |
Наибольшая мощность в фокусе пучка, кВт | 6 |
Габарит корпуса испарителя, мм |
ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ С ОДНИМ ТИГЛЕМ
Для промышленного нанесения металлов, например тугоплавких, или алюминия
с высоким качеством
Количество тиглей | 1 |
Расположение испарителя внутри камеры | Определяется фланцем |
Объём ячейки тигля | 100 см3 |
Наибольшая энергия электронов, кэВ | 10 |
Наибольший ток электронного пучка, А | 1,2 |
Наибольшая мощность в фокусе пучка, кВт | 10 |
Габарит корпуса испарителя, мм |
ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ИСПАРИТЕЛЬ С ОДНИМ ВРАЩАЮЩИМСЯ ТИГЛЕМ
Для длительного промышленного нанесения сублимирующих материалов, в том
числе оксидов, фторидов.
Количество тиглей | 1 вращающийся |
Расположение испарителя внутри камеры | Определяется фланцем |
Объём ячейки тигля | 700 см3 |
Наибольшая энергия электронов, кэВ | 8 |
Наибольший ток электронного пучка, А | 1 |
Наибольшая мощность в фокусе пучка, кВт | 6 |
Габарит корпуса испарителя, мм |
