Для разработки технологии многослойных покрытий и промышленного нанесения оптических покрытий.
Горизонтальное, боковое расположение привода вращения. Позволяет пользователю произвольно располагать ЭЛИ внутри камеры. Передача вращения может осуществляться гибким валом или системой карданных передач (входит в комплект поставки).
Количество тиглей | 4 |
Расположение испарителя внутри камеры | Произвольное |
Объём ячейки тигля | 14 см3 |
Наибольшая энергия электронов, кэВ | 8 |
Наибольший ток электронного пучка, А | 1 |
Наибольшая мощность в фокусе пучка, кВт | 6 |
Габарит корпуса испарителя, мм |
