clock
Заказать звонок Мы вам перезвоним

Установка для непрерывного нанесения покрытий на дисперсные материалы – EPOS-PVD-Powder

Назначение

 

          Вакуумная установка EPOS-PVD-Powder разработана и изготовлена специально для задачи нанесения покрытий на дисперсные материалы.

Подробное описание оборудования

Скачать полное описание Скачать полное описание

Описание

 

          Области применения установки EPOS-PVD-Powder:

  • Приготовление композитных, наноматериалов, катализаторов и др.;
  • СВС-синтез;
  • Блокирующие слои;
  • Исследования в области биосовместимых покрытий;
  • Многослойное напыление металлов и диэлектриков;
  • Отработка технологий в области материаловедения;
  • Полупроводниковые технологии;
  • Инженерные приложения.

          Уникальной особенностью данной установки является специально разработанная виброкювета, позволяющая достигать высокого уровня адгезии и равномерного распределения напыляемого материала на образец.

 

 

Комплектация

 

          Установка оснащена двумя  DC магнетронами для металлов, двумя RF магнетронами  для диэлектриков, ионным источником для очистки, датчиком толщины покрытия. Подача газа осуществляется через газовое кольцо отдельно на каждом магнетроне с помощью двухканальной системы подачи газа через масс-флоу контроллеры.

          

          Виброкювета устанавливается на вращающемся подложкодержателе и  может точно помещаться под различными магнетронами (точность позиционирования – менее 1 мм – обеспечивается оптическими датчиками положения, что даёт возможность получения многослойных покрытий за один технологический цикл).

 

          Установка обеспечивает толщину покрытий  от десятков нанометров до нескольких микрон.

 

          Высокая чистота покрытий обеспечивается системой безмасляной откачки на основе турбомолекулярного насоса.

 

          Дополнительные опции – квадрупольный масс-спектрометр, источник бесперебойного питания, позволяющий завершить техпроцесс за два часа после отключения электричества.

 

Скачать полное описание