Вакуумная установка EPOS-PVD-Powder разработана и изготовлена специально для задачи нанесения покрытий на дисперсные материалы.
Области применения установки EPOS-PVD-Powder:
Уникальной особенностью данной установки является специально разработанная виброкювета, позволяющая достигать высокого уровня адгезии и равномерного распределения напыляемого материала на образец.
Установка оснащена двумя DC магнетронами для металлов, двумя RF магнетронами для диэлектриков, ионным источником для очистки, датчиком толщины покрытия. Подача газа осуществляется через газовое кольцо отдельно на каждом магнетроне с помощью двухканальной системы подачи газа через масс-флоу контроллеры.
Виброкювета устанавливается на вращающемся подложкодержателе и может точно помещаться под различными магнетронами (точность позиционирования – менее 1 мм – обеспечивается оптическими датчиками положения, что даёт возможность получения многослойных покрытий за один технологический цикл).
Установка обеспечивает толщину покрытий от десятков нанометров до нескольких микрон.
Высокая чистота покрытий обеспечивается системой безмасляной откачки на основе турбомолекулярного насоса.
Дополнительные опции – квадрупольный масс-спектрометр, источник бесперебойного питания, позволяющий завершить техпроцесс за два часа после отключения электричества.