Установка для вакуумного напыления металлов на рулонные материалы - EPOS-PVD-Roll

Описание

          Установка имеет цилиндрическую камеру диаметром 1200 мм и высотой 500 мм, изготовленную из нержавеющей стали, в которую загружается рулонная лента-подложка шириной до 310 мм и диаметром рулона до 300 мм. Перемещение подложки производится при помощи лентопротяжного механизма со скоростью до 50 метров в минуту при толщине наносимых покрытий до 25 нм. Для обеспечения визуального наблюдения за процессом на камере установлены круглое и прямоугольное смотровые окна. Откачка установки осуществляется высокопроизводительным турбомолекулярным насосом. Система магнетронного распыления изготовлена на основе протяженной магнетронной распылительной системы с планарным катодом с длиной катода 450 мм.

          Для охлаждения магнетрона применяется автономная замкнутая система. В качестве рабочего газа используется аргон, подаваемый в магнетрон с помощью системы подачи газов, на основе прецизионного цифрового регулятора расхода.

          Опционально установка может быть оборудована полной системой автоматизации технологического процесса, включающую в себя систему блокировок и кросс-бокс с гальваническими развязками. Программное обеспечение позволяет управлять технологическим процессом в автоматическом режиме, с возможностью перехода в ручной. Обеспечение системы автоматизации источником бесперебойного электропитания позволяет корректно завершить работу установки в случае аварийного пропадания электричества.

Технические характеристики

Скачать полное описание