Установка предназначена для термовакуумных испытаний материалов с одновременным проведением измерений оптическими методами. Для этого вакуумная камера установки оснащена двумя окнами с широкой полосой пропускания в инфракрасной области спектра.
Скачать полное описание
Установка имеет цилиндрическую вакуумную диаметром 300 мм, длиной 400 мм, изготовленную из нержавеющей стали марки AISI 304. Корпус вакуумной камеры охлаждается проточной водой. Для загрузки/выгрузки образцов вакуумная камера оснащена водоохлаждаемой дверью. Слева и справа на цилиндрической части камеры расположены фланцы CF40 для установки оптических окон из селенида цинка (спектральный диапазон пропускания 0,6 – 20 мкм).
Сверху на цилиндрической части вакуумной камеры расположены фланцы для установки клапана напуска атмосферного воздуха и датчика измерения давления. На задней поверхности вакуумной камеры имеются водоохлаждаемые патрубки для подключения вакуумного турбомолекулярного поста и ввода линейного перемещения переднего нагревателя. Камера отсекается от вакуумного турбомолекулярного поста при помощи высоковакуумного клапана. Снизу на цилиндрической части вакуумной камеры расположен фланец ISO180 для установки основного нагревателя-подложкодержателя. Все внутренние поверхности установки черненые. Коэффициент поглощения стенок камеры (степень черноты) – 0,93.
Основной нагреватель-подложкодержатель размером 40×120 мм изготовлен из молибдена. Имеется возможность установки на нагреватель-подложкодержатель двух образцов. Рабочая температура нагревателя – до 1000°С, равномерность нагрева на площади 40×95 (центральная часть нагревателя) не хуже 0,5 %. Подвод мощности и поддержание заданной температуры производится программным ПИД-регулятором. Нагреватель-подложкодержатель расположен на высокоточном вакуумном вводе вращения. Привод осуществляется шаговым двигателем, управление – программируемым блоком управления. Минимальный угловой шаг вращения нагревателя – не более 0,5 град. Предусмотрена возможность установки «нулевого» положения и ограничения вращения по оптическим датчикам.
Технические характеристики
Размер исследуемого образца, мм | 40×95×1…5 |
Диапазон нагрева АЧТ и образца, °С | 20-1000 |
Равномерность нагрева образцов, % | 0,5 |
Предельный вакуум, торр | 1×10-5 |
Диаметр оптических окнон, мм | 40 |
Спектральная полоса пропускания окон, мкм | 0,6-20 |
Равномерность температуры внутренней стенки, % | 0,5 |
Индикация | ЖК дисплеи, монитор компьютера |
Охлаждение | Воздушное + водяное |
Электропитание | 220 В 50 Гц |
Установленная мощность, кВт | не более 5,5 |
Масса установки, кг | более 200 |
Габаритный размер (Д×Ш×В), мм | 900×1100×1600 |
