Скачать полное описание
Установка имеет цилиндрическую вакуумную диаметром 300 мм, длиной 400 мм, изготовленную из нержавеющей стали марки AISI 304. Корпус вакуумной камеры охлаждается проточной водой. Для загрузки/выгрузки образцов вакуумная камера оснащена водоохлаждаемой дверью. Слева и справа на цилиндрической части камеры расположены фланцы CF40 для установки оптических окон из селенида цинка (спектральный диапазон пропускания 0,6 – 20 мкм).
Сверху на цилиндрической части вакуумной камеры расположены фланцы для установки клапана напуска атмосферного воздуха и датчика измерения давления. На задней поверхности вакуумной камеры имеются водоохлаждаемые патрубки для подключения вакуумного турбомолекулярного поста и ввода линейного перемещения переднего нагревателя. Камера отсекается от вакуумного турбомолекулярного поста при помощи высоковакуумного клапана. Снизу на цилиндрической части вакуумной камеры расположен фланец ISO180 для установки основного нагревателя-подложкодержателя. Все внутренние поверхности установки черненые. Коэффициент поглощения стенок камеры (степень черноты) – 0,93.
Основной нагреватель-подложкодержатель размером 40×120 мм изготовлен из молибдена. Имеется возможность установки на нагреватель-подложкодержатель двух образцов. Рабочая температура нагревателя – до 1000°С, равномерность нагрева на площади 40×95 (центральная часть нагревателя) не хуже 0,5 %. Подвод мощности и поддержание заданной температуры производится программным ПИД-регулятором. Нагреватель-подложкодержатель расположен на высокоточном вакуумном вводе вращения. Привод осуществляется шаговым двигателем, управление – программируемым блоком управления. Минимальный угловой шаг вращения нагревателя – не более 0,5 град. Предусмотрена возможность установки «нулевого» положения и ограничения вращения по оптическим датчикам.
Технические характеристики
Размер исследуемого образца, мм | 40×95×1…5 |
Диапазон нагрева АЧТ и образца, °С | 20-1000 |
Равномерность нагрева образцов, % | 0,5 |
Предельный вакуум, торр | 1×10-5 |
Диаметр оптических окнон, мм | 40 |
Спектральная полоса пропускания окон, мкм | 0,6-20 |
Равномерность температуры внутренней стенки, % | 0,5 |
Индикация | ЖК дисплеи, монитор компьютера |
Охлаждение | Воздушное + водяное |
Электропитание | 220 В 50 Гц |
Установленная мощность, кВт | не более 5,5 |
Масса установки, кг | более 200 |
Габаритный размер (Д×Ш×В), мм | 900×1100×1600 |
