clock
Заказать звонок Мы вам перезвоним

Установка для исследования процессов нанесения тонких пленок

Назначение

 

          Установка предназначена для исследования процессов нанесения тонких пленок с использованием технологий PVD или CVD напыления. Секционированная камера с большим количеством фланцев позволяет гибко модифицировать установку под различные задачи, в том числе с различными источниками напыления и разнообразным диагностическим оборудованием.

Подробное описание оборудования

Скачать полное описание Скачать полное описание

Описание

 

          Установка оснащена вакуумной камерой диаметром 70 см и длиной около 2 метров. Несмотря на большее количество фланцев, даже без прогрева камеры был получен вакуум 4×10–7 торр при использовании турбомолекулярных насосов. На двери камеры расположено большое количество смотровых окон для наблюдения за процессом напыления или размещения средств оптической диагностики покрытий.

 

          По умолчанию установка оснащена магнетронами и ионным источником для травления и ассистирования, подвижным подложкодержателем и тремя каналами подачи газа. Установка полностью автоматизирована, затворы и клапаны пневматические. Откачка может осуществляться как в режиме ручного управления, так и нажатием одной кнопки. Компьютерное управление системой напуска газа и системами питания магнетронов и ионного источника. Показания вакуумметров, параметры состояния насосов, затворов, расход газов отображаются на мониторе компьютера.

 

Технические характеристики

 

Технологические источники

Магнетроны, ионный источник

Размер вакуумной камеры (×Д), мм

700×2000

Система подачи газа

3 канала, оснащенные цифровыми регуляторами расхода газа

Система подогрева подложек

Галогенными лампами

Подложкодержатель

Вращаемый сервоприводом, с позиционированием, регулируемый по высоте, оснащен охлаждаемым вакуумным вводом движения

Вакуумная система

Высоковакуумный насос –турбомолекулярный, форвакуумный – масляной/безмасляной по запросу. Широкодиапазонный вакуумметр, форвакуумный вакуумметр

Предельный вакуум, торр

4×10–7

 

Скачать полное описание