Исполнение установки предполагает возможность её дальнейшего оснащения широким спектром методов воздействия на образцы.: от охлаждения ячейками Пельтье до контролируемого нагрева до 900 0С.
Вращение образцов обеспечивает однородность плёнок лучше 3%. Контроль свойств плёнки обеспечивается кварцевыми микровесами.
Для измерения удельного сопротивления плёнки используется четырёхзондовый метод.
