Установка напыления EPOS-PVD-440 с автоматическим управлением, предназначена для равномерного осаждения металлических и диэлектрических слоев на поверхности прогретых образцов методом магнетронного распыления с предварительной ионно-лучевой очисткой.
Количество обрабатываемых изделий: Ø 80 мм × 270 мм – не менее 10 шт.
Количество обрабатываемых изделий Ø 40 мм × 270 мм – не менее 20 шт.
Способ загрузки изделий – ручная загрузка через дверь камеры на носителях.
Важным преимуществом установки является поднимаемый гидравликой корпус камеры, что предоставляет дополнительную возможность удобной загрузки, а также позволяет легко и быстро очищать поверхность рабочего стола.
Также среди преимуществ данной установки – её высокая производительность при технологическом разнообразии способов распыления для различных материалов.
Напыление покрытий металлов и диэлектриков до больших толщин производится за счет мощного нагрева изделий, ионной обработки, интенсивного распыления в импульсных, высокочастотных, дуальных режимах
