Вакуумная заслонка - устройство, предназначенное для изменения сечение канала (разделения пространства) и регулировки массы (объема) проходящего по нему вещества.
Скачать полное описание
ООО «ЭПОС-Инжиниринг» производит вакуумные заслонки самых различных исполнений. Заслонки применения в PVD технологиях для ограничения потока прекурсора, защиты стекол от запыления и других целей. Возможно поворотное или шиберное исполнение. Рабочая среда – вакуум, управление заслонками осуществляется со стороны атмосферы, поэтому заслонки комплектуются вакуумными вводами вращения. Вакуумные заслонки комплектуются ручным приводом, опционально – пневматическим или электрическим с системой позиционирования. Предусмотрена возможность водяного охлаждения заслонок.
