Магнетронное напыление
При магнетронном вакуумном напылении напротив изделий устанавливается пластины из выбранных материалов. Из этих пластин – мишеней энергично выбиваются атомы и осаждаются на изделиях.
Преимущества магнетронного распыления:
- Отсутствие капель в покрытии;
- Высокая адгезия покрытия;
- Энергичные атомы сами чистят поверхность изделий от слабо связанных загрязнений;
- Хорошая стабильность и линейная зависимость скорости распыления от времени обеспечивают заданную толщину покрытия;
- Хорошая масштабируемость магнетронного распыления позволяет достигать высоких скоростей напыления за счет линейного увеличения распыляемой площади магнетронов, произвольный выбор направления нанесения покрытия (вбок, сверху вниз);
- Возможность автоматизации установки и прописанный регламент работ по чистке, замене мишеней гарантируют воспроизводимость свойств покрытий, снижают требования к персоналу.
Десятки изготовленных нами установок магнетронного напыления работают в России и странах СНГ.
Настольная вакуумная установка магнетронного напыления - EPOS-PVD-DESKМагнетронное напыление
Промышленная установка магнетронного напыления – EPOS-PVDМагнетронное напыление
Многофункциональная установка напыления тонких пленок - EPOS‐PVD‐E-MagМагнетронное напыление
Установка для непрерывного нанесения покрытий на дисперсные материалы – EPOS-PVD-PowderМагнетронное напыление
Установка для вакуумного напыления металлов на рулонные материалы - EPOS-PVD-RollМагнетронное напыление
Установка конфокального магнетронного напыления – EPOS-PVD-CONF Магнетронное напыление
