Магнетронное напыление

При магнетронном вакуумном напылении напротив изделий устанавливается пластины из выбранных материалов. Из этих пластин – мишеней энергично выбиваются атомы и осаждаются на изделиях.

Преимущества магнетронного распыления:

• Отсутствие капель в покрытии;
• Высокая адгезия покрытия;
• Энергичные атомы сами чистят поверхность изделий от слабо связанных загрязнений;
• Хорошая стабильность и линейная зависимость скорости распыления от времени обеспечивают заданную толщину покрытия;
• Хорошая масштабируемость магнетронного распыления позволяет достигать высоких скоростей напыления за счет линейного увеличения распыляемой площади магнетронов, произвольный выбор направления нанесения покрытия (вбок, сверху вниз);
• Возможность автоматизации установки и прописанный регламент работ по чистке, замене мишеней гарантируют воспроизводимость свойств покрытий, снижают требования к персоналу.

Десятки изготовленных нами установок магнетронного напыления работают в России и странах СНГ.