Промышленная магнетронная установка – EPOS-PVD-440

Установка EPOS-PVD-440 с автоматическим управлением предназначена для нанесения металлических и диэлектрических покрытий методом магнетронного распыления с предварительной ионно-лучевой очисткой и возможностью нагрева обрабатываемых подложек до 300ÅС.
Для установки конкретных напыляемых изделий возможно применение специальной оснастки.
Напыляемые изделия устанавливается в вакуумную камеру на вращающемся столе, который приводится в движение механизмом вращения. Загрузка изделий в камеру производится через дверцу вручную.

Комплектация

Электрическая часть установки обеспечивает электропитание элементов установки, осуществляет контроль параметров и автоматизированное управление работой установки. Состоит из источников питания и системы управления

Установка оборудована системой полной автоматизации технологического процесса, включая ряд необходимых блокировок и кросс-бокс с гальваническими развязками.

Программное обеспечение (ПО) позволяет управлять в автоматическом режиме: вакуумной откачкой, регистрацией давления и температуры, параметрами магнетронного распыления и ионной очистки, вращением подложкодержателя, подачей газа. Помимо автоматического управления имеется возможность работы в ручном режиме. ПО имеет алгоритмы анализа и протоколирования аварийных ситуаций. В случае возникновения аварийной ситуации ПО генерирует окно аварийных сообщений, которое содержит информацию о причине аварийной ситуации и времени ее возникновения, а также переводит установку в безопасное состояние.