Промышленная магнетронная установка – EPOS-PVD-440
Назначение
Установка EPOS-PVD-440 с автоматическим управлением предназначена для нанесения металлических и диэлектрических покрытий методом магнетронного распыления с предварительной ионно-лучевой очисткой и возможностью нагрева обрабатываемых подложек до 300ÅС.
Для установки конкретных напыляемых изделий возможно применение специальной оснастки.
Напыляемые изделия устанавливается в вакуумную камеру на вращающемся столе, который приводится в движение механизмом вращения. Загрузка изделий в камеру производится через дверцу вручную.
Комплектация
Электрическая часть установки обеспечивает электропитание элементов установки, осуществляет контроль параметров и автоматизированное управление работой установки. Состоит из источников питания и системы управления
Установка оборудована системой полной автоматизации технологического процесса, включая ряд необходимых блокировок и кросс-бокс с гальваническими развязками.
Программное обеспечение (ПО) позволяет управлять в автоматическом режиме: вакуумной откачкой, регистрацией давления и температуры, параметрами магнетронного распыления и ионной очистки, вращением подложкодержателя, подачей газа. Помимо автоматического управления имеется возможность работы в ручном режиме. ПО имеет алгоритмы анализа и протоколирования аварийных ситуаций. В случае возникновения аварийной ситуации ПО генерирует окно аварийных сообщений, которое содержит информацию о причине аварийной ситуации и времени ее возникновения, а также переводит установку в безопасное состояние.


Технические характеристики
Размер рабочей камеры, мм
диаметр |
750 |
Остаточное давление в камере, Па | 8*10-4 |
Рабочее давление в камере, Па | 5*10-1 |
Температура нагрева подложек, °С | 300 |
Точность поддержания температуры, % | ±5 |
Равномерность нанесения покрытий, % | ±10 |
Габариты установки, Д*Ш*В, мм | 1600*1800*2200 |
Масса установки, т | 2 |

