Установка для непрерывного нанесения покрытий на дисперсные материалы – VSE-PVD-Powder

Назначение

Вакуумная установка VSE-PVD-Powder разработана и изготовлена специально для задачи нанесения покрытий на дисперсные материалы.

Области применения:

  • приготовление композитных, наноматериалов, катализаторов и др.
  • СВС-синтез
  • блокирующие слои
  • исследования в области биосовместимых покрытий
  • многослойное напыление металлов и диэлектриков
  • отработка технологий в области материаловедения
  • полупроводниковые технологии
  • инженерные приложения

Уникальной особенностью данной установки является специально разработанная виброкювета, позволяющая достигать высокого уровня адгезии и равномерного распределения напыляемого материала на образец.

Вакуумная установка VSE-PVD-Powder магнетронного напыления
виброкювета
Порошок для Вакуумная установка VSE-PVD-Powder магнетронного напыления

Виброкювета устанавливается на вращающемся подложкодержателе и  может точно помещаться под различными магнетронами (точность позиционирования – менее 1 мм – обеспечивается оптическими датчиками положения, что даёт возможность получения многослойных покрытий за один технологический цикл.

Толщина покрытий  – от десятков нанометров до нескольких микрон.

Высокая чистота обеспечивается системой безмасляной откачки на основе турбомолекулярного насоса Shimadzu.

Установка оснащена двумя  DC магнетронами для металлов, двумя RF магнетронами  для диэлектриков, ионным источником для очистки, датчиком толщины покрытия.

Подача газа через газовое кольцо отдельно на каждом магнетроне.
Два канала подачи газа через масс-флоу контроллеры.

Дополнительные опции —  квадрупольный масспектрометр, источник бесперебойного питания, позволяющий завершить техпроцесс за два часа после отключения электричества.