Установка для исследования процессов нанесения тонких пленок
Назначение и область применения
Установка для исследования процессов нанесения тонких пленок разработана и изготовлена компанией «Вакуумные системы и электроника» по техническому заданию Заказчика для Лаборатории экспериментальной физики Центра научно-технического творчества НГУ.
Диаметр камеры 70 см, длина около 2 метров. Несмотря на большее количество фланцев, даже без прогрева камеры был получен вакуум 4×10–7 торр на турбомолекулярных насосах.
Установка на различных этапах монтажа. На двери камеры расположено большое количество смотровых окон для наблюдения за процессом напыления. Рукояти уплотнения двери — на подшипниках, что облегчает работу с установкой студенткам.
Установка полностью автоматизирована, затворы и клапаны пневматические. Откачка может осуществляться как в режиме ручного управления, так и нажатием одной кнопки. Компьютерное управление системой напуска газа (3 канала) и системами питания магнетронов и ионного источника. Показания вакуумметров, параметры состояния насосов, затворов, расход газов отображаются на мониторе компьютера.
