Установка для исследования процессов нанесения тонких пленок

Назначение и область применения

Установка для исследования процессов нанесения тонких пленок разработана и изготовлена компанией «Вакуумные системы и электроника» по техническому заданию Заказчика для Лаборатории экспериментальной физики Центра научно-технического творчества НГУ.

Картинка Установка для исследования процессов нанесения тонких пленок

Диаметр камеры 70 см, длина около 2 метров. Несмотря на большее количество фланцев, даже без прогрева камеры был получен вакуум 4×10–7 торр на турбомолекулярных насосах.

Картинка Установка для исследования процессов нанесения тонких пленок

Установка на различных этапах монтажа. На двери камеры расположено большое количество смотровых окон для наблюдения за процессом напыления. Рукояти уплотнения двери — на подшипниках, что облегчает работу с установкой студенткам.
Установка полностью автоматизирована, затворы и клапаны пневматические. Откачка может осуществляться как в режиме ручного управления, так и нажатием одной кнопки. Компьютерное управление системой напуска газа (3 канала) и системами питания магнетронов и ионного источника. Показания вакуумметров, параметры состояния насосов, затворов, расход газов отображаются на мониторе компьютера.

Картинка Установка для исследования процессов нанесения тонких пленок

Cостав установки для исследования процессов нанесения тонких пленок:

  • Магнетроны и ионный источник с системами питания (ООО «Прикладная электроника»)
  • Цифровые регуляторы расхода газа (Horiba);
  • Система нагрева подложек галогенными лампами (ООО «ВСЭ»);
  • Охлаждаемый и регулируемый по высоте механизм вращения подложек (ООО «ВСЭ»);
  • другие компоненты.