Установка для исследования процессов нанесения тонких пленок

Назначение и область применения

Установка для исследования процессов нанесения тонких пленок разработана и изготовлена компанией «Вакуумные системы и электроника» по техническому заданию Заказчика для Лаборатории экспериментальной физики Центра научно-технического творчества НГУ.

Установка для нанесения тонких пленок

Диаметр камеры 70 см, длина около 2 метров. Несмотря на большее количество фланцев, даже без прогрева камеры был получен вакуум 4×10–7 торр на турбомолекулярных насосах.

Установка для нанесения тонких пленок

Установка на различных этапах монтажа. На двери камеры расположено большое количество смотровых окон для наблюдения за процессом напыления. Рукояти уплотнения двери — на подшипниках, что облегчает работу с установкой студенткам.
Установка полностью автоматизирована, затворы и клапаны пневматические. Откачка может осуществляться как в режиме ручного управления, так и нажатием одной кнопки. Компьютерное управление системой напуска газа (3 канала) и системами питания магнетронов и ионного источника. Показания вакуумметров, параметры состояния насосов, затворов, расход газов отображаются на мониторе компьютера.

Установка для нанесения тонких пленок

Cостав установки для исследования процессов нанесения тонких пленок:

  • Магнетроны и ионный источник с системами питания (ООО «Прикладная электроника»)
  • Цифровые регуляторы расхода газа (Horiba);
  • Система нагрева подложек галогенными лампами (ООО «ВСЭ»);
  • Охлаждаемый и регулируемый по высоте механизм вращения подложек (ООО «ВСЭ»);
  • другие компоненты.