Вакуумные камеры нашего производства

В настоящее время вакуумные камеры широко используются как самостоятельно, так и в составе самых разнообразных по величине и сложности систем.

Большинство современных вакуумных технологий предъявляет повышенные требования к качеству изготовления и конструкции этих изделий.

Наши специалисты имеют  уникальный опыт, связанный со всем циклом создания вакуумных камер:  от погружения в технологию заказчика, составления и согласования  ТЗ, максимально соответствующего задаче, до пошагового планирования и реализации всех этапов получения готового изделия.

Рассмотрим несколько основных вариантов камер, которые мы готовы выполнять на заказ.

1. Камеры большого объёма (> 1000л), как правило, используются для

  • термовакуумных испытаний
  • установок термоядерного синтеза
  • нанесения покрытий на массивные изделия и образцы
  • для процессов обеззараживания
  • проведения вакуумной обработки сложных конструкций с наличием отверстий и прорезей
  • вакуумной сушки
  • азотирования

Обычно рассчитаны на средний вакуум 10 -3 – 10 -6 торр.

По форме могут быть цилиндрическими, прямоугольными, кубическими. Имеют преимущественно горизонтальную ориентацию.

Для камер большого объёма мы используем различные подходы при конструировании. Например, в условиях производства полезное пространство сохраняют прямоугольные камеры. Успешно работают вакуумные камеры нашего производства с характерными размерами 1,5-2 метра. При этом давление атмосферы на поверхность стенки достигает 20 тонн. Применение ребер жесткости и компьютерного моделирования позволяет существенно сократить вес и металлоемкость прямоугольной вакуумной камеры.

Высококачественные вакуумные сварные швы могут выполняться как в ручном, так и в автоматизированном режимах. Финишная обработка внутренней поверхности важна для получения необходимого вакуума и сочетает в себе шлифовку и электрохимполировку. Наружная поверхность обрабатывается в декоративных целях, может быть матовой или блестящей, электрохимполированной.

2. Средние камеры (от 100 до 1000л) – наиболее распространённый тип камер.

Применяется для исследовательских экспериментов, испытаний в условиях имитации космоса, для различного типа процессов осаждения, травления, имплантации, МЛЭ,  высокочистого синтеза и беспримесных технологий, вакуумных печей, установок азотирования, в качестве транспортных модулей кластерных установок и др.

Данный тип камер  рассчитан для условий от низкого до сверхвысокого 10 -11 вакуума.

Геометрия  может быть самой разнообразной, от сферической до прямоугольной, иметь сложные формы (вытянутую, в виде колпака, с «коленами»). Камера может оснащаться водяным охлаждением, азотными криопанелями, экранами, нагревателями, окнами, вводами и др.

При проектировании вакуумной камеры важно заранее определиться с требованиями по дополнительной оснастке будущей вакуумной системы, предусмотреть все необходимые элементы – фланцы откачки, измерительной аппаратуры, устройства перемещения. Необходимый критерий в выборе габаритов и конструкции камеры – удобство загрузки подложек, испаряемых веществ или чистки камеры.

3. Малогабаритные вакуумные камеры (1-100 л) – могут быть рассчитаны на давление от 100 до 10 -11 торр.

Несмотря на размер, обеспечивают простор для размещения нескольких небольших образцов или одного среднего.

Герметичные сварочные швы выполняются внутри камеры, что снижает количество «пазух», заполненных воздухом. В сочетании с небольшими габаритами и площадью поверхности стенок можно  использовать  вакуумные насосы  небольшой производительности. Такие насосы, как правило, малошумны и подключаются к стандартной офисной розетке.

Камера большого объема
Камера большого объема
Средняя камера
Средняя камера
Малогабаритная камера
Малогабаритная камера
Камера большого объема
Камера большого объема

В вакуумных камерах этого типа толщина стенок и фланцев минимальны. Это обусловливает их малый вес, что позволяет применять их для настольных вакуумных установок. Они  могут использоваться для лабораторных исследований, отработки технологий, очистки поверхности образцов и др.  Широко используются в качестве учебного оборудования для обучения студентов основам вакуумной техники, физике плазмы, газового разряда, основам полупроводниковых технологий.  Есть возможность использовать камеры небольших объёмов в качестве переходного (шлюзового)  узла в составе больших установок.

Материалом, из которого мы изготавливаем камеры, является высококачественная нержавеющая сталь AISI 304, 316L. Возможны варианты изготовления из алюминия, титана, меди, кварцевого либо боросиликатного стекла.