Термическое вакуумное напыление – очень распространенный метод нанесения покрытий в вакууме и наиболее простым: материал испаряется посредством его нагрева резистивным нагревателем и конденсируется на подложке. При испарении из тигля с резистивным нагревателем или из лодочки достоинством является относительная простота систем питания и физики процесса. Метод хорошо подходит как для испарения многих металлов в вакууме, так и органики и других теплочувствительных материалов для фотовольтаики.
Существенным отличием термического испарения от других способов PVD напыления является необходимость испарять снизу вверх. Это требование возникает из-за наличия жидкого металла в области испарения.
