В настоящее время вакуумные камеры широко используются как самостоятельно, так и в составе самых разнообразных по величине и сложности систем.
Большинство современных вакуумных технологий предъявляет повышенные требования к качеству изготовления и конструкции этих изделий.
Наши специалисты имеют уникальный опыт, связанный со всем циклом создания вакуумных камер: от погружения в технологию заказчика, составления и согласования ТЗ, максимально соответствующего задаче, до пошагового планирования и реализации всех этапов получения готового изделия.
Скачать полное описание
Обычно рассчитаны на средний вакуум 10 -3 – 10 -6 торр.
По форме могут быть цилиндрическими, прямоугольными, кубическими. Имеют преимущественно горизонтальную ориентацию.
Для камер большого объёма мы используем различные подходы при конструировании. Например, в условиях производства полезное пространство сохраняют прямоугольные камеры. Успешно работают вакуумные камеры нашего производства с характерными размерами 1,5-2 метра. При этом давление атмосферы на поверхность стенки достигает 20 тонн. Применение ребер жесткости и компьютерного моделирования позволяет существенно сократить вес и металлоемкость прямоугольной вакуумной камеры.
Высококачественные вакуумные сварные швы могут выполняться как в ручном, так и в автоматизированном режимах. Финишная обработка внутренней поверхности важна для получения необходимого вакуума и сочетает в себе шлифовку и электрохимполировку. Наружная поверхность обрабатывается в декоративных целях, может быть матовой или блестящей, электрохимполированной.
Применяется для исследовательских экспериментов, испытаний в условиях имитации космоса, для различного типа процессов осаждения, травления, имплантации, МЛЭ, высокочистого синтеза и беспримесных технологий, вакуумных печей, установок азотирования, в качестве транспортных модулей кластерных установок и др.
Данный тип камер рассчитан для условий от низкого до сверхвысокого 10 -11 вакуума.
Геометрия может быть самой разнообразной, от сферической до прямоугольной, иметь сложные формы (вытянутую, в виде колпака, с «коленами»). Камера может оснащаться водяным охлаждением, азотными криопанелями, экранами, нагревателями, окнами, вводами и др.
При проектировании вакуумной камеры важно заранее определиться с требованиями по дополнительной оснастке будущей вакуумной системы, предусмотреть все необходимые элементы – фланцы откачки, измерительной аппаратуры, устройства перемещения. Необходимый критерий в выборе габаритов и конструкции камеры – удобство загрузки подложек, испаряемых веществ или чистки камеры.
Несмотря на размер, обеспечивают простор для размещения нескольких небольших образцов или одного среднего.
Герметичные сварочные швы выполняются внутри камеры, что снижает количество «пазух», заполненных воздухом. В сочетании с небольшими габаритами и площадью поверхности стенок можно использовать вакуумные насосы небольшой производительности. Такие насосы, как правило, малошумны и подключаются к стандартной офисной розетке.
В вакуумных камерах этого типа толщина стенок и фланцев минимальны. Это обусловливает их малый вес, что позволяет применять их для настольных вакуумных установок. Они могут использоваться для лабораторных исследований, отработки технологий, очистки поверхности образцов и др. Широко используются в качестве учебного оборудования для обучения студентов основам вакуумной техники, физике плазмы, газового разряда, основам полупроводниковых технологий. Есть возможность использовать камеры небольших объёмов в качестве переходного (шлюзового) узла в составе больших установок.
Материалом, из которого мы изготавливаем камеры, является высококачественная нержавеющая сталь AISI 304, 316L. Возможны варианты изготовления из алюминия, титана, меди, кварцевого либо боросиликатного стекла.
