Назначение
Установка EPOS- VACFURN -2000 – высокотемпературная вертикальная вакуумная печь с возможностью создания газовой атмосферы высокой чистоты, с зоной нагрева из вольфрама с температурой изделий до 2000 °C.
Предназначена для проведения процессов вакуумной термообработки: спекание, выращивание кристаллов из расплава, самораспространяющийся высокотемпературный синтез (СВС) азотированных керамических и металлокерамических материалов, ферросплавов, интерметаллидов тугоплавких металлов, а также для вакуумной пайки инструментов из сплавов и сверхтвердых материалов, закалки, отжига, дегазации. Печь позволяет выполнять высококачественную бездефектную вакуумную пайку и пайку в специальной атмосфере (технологическом газе или вакууме), высокотемпературный отжиг выращенных плёнок силовых приборов и изделий микроэлектроники;
Вакуумные печи широко используются в атомной, электронной, авиационной и других отраслях промышленности.
Описание
Печь EPOS- VACFURN -2000 c вертикально расположенной вакуумной камерой колпакового типа, с опускающимся механизированным подом и вертикальной загрузкой материалов и полуфабрикатов, устанавливается на раму с декоративными, легкосъемными панелями. Источник питания и пульт управления расположены в непосредственной близости к рабочей камере.
Данная конструкция обеспечивает достижение глубокого вакуума (в холодном состоянии – не хуже 1·10-3 Па). Печь оснащена рубашкой охлаждения, системой жаростойких экранов и нагревателями на основе вольфрама и максимально проста в эксплуатации.
Вакуум-герметичная конструкция и тщательный контроль газовых потоков позволяют проводить нагрев в атмосфере высокой чистоты в различных инертных, восстановительных газов и их смесей.
Технические характеристики и комплектация вакуумной печи EPOS-VACFURN-2000
ПАРАМЕТР | ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ |
Установленная мощность установки, кВт | 100 |
Максимальная длительная температура в рабочей зоне, °С | 2000 |
Схема загрузки | Вертикальная, с опускающимся подом |
Вакуумная камера | - Камера выполнена в вертикальном исполнении колпакового типа;
- Материал камеры: нержавеющая сталь 12Х18Н10Т;
- Форма камеры: цилиндрическая с эллиптическим колпаком;
- Размеры камеры: диаметр – 514 мм; высота – 664 мм;
- Конструкция камеры: корпус - выполнен по типу труба в трубе с каналом водоохлаждения и водоохлаждаемым фланцем ñ620 мм;
- стол предметный ñ150 мм - установлен на водоохлаждаемый фланец;
- Изоляция камеры нагрева экранная, слои из вольфрама, молибдена и нержавеющей стали
|
Вакуумная система | - тип вакуумной системы - сухая
- форвакуумный спиральный насос производительностью не менее 25 м3/час;
- вакуумметр с диапазоном измерения от 10-4 до 1 бар;
- широкодиапазонный вакуумметр с диапазоном измерения от 5х10-8 до 1 бар;
- турбомолекулярный насос с быстротой действия не менее 700 л/сек;
- регулятор расхода газа;
- вакуумная арматура включает комплект пневматических клапанов, вакуумный затвор и вакуумные фитинги.
|
Рабочая зона нагрева (тепловой блок) | - Размеры рабочей зоны (диаметр × высота), не менее Ø150 × 200 мм;
- Материал нагревателей сопротивления – вольфрам.
|
Система водяного охлаждения | - Охлаждение вакуумной камеры – водяное.
- Клеммы питания токовводов и кабели – водоохлаждаемые;
- Все контуры охлаждения оснащены расходомерами и датчиками температуры.
- Возможно использование замкнутого контура охлаждения.
- Рекомендованная охлаждающая жидкость – дистиллированная вода;
- Количество датчиков рабочей жидкости с измерением величины потока – 5 шт.
|
Система подачи/отвода газов | - Для подачи инертного или формир-газа.
- Контроль подачи газа с использованием электронного расходомера;
- давление измеряется электронным датчиком давления.
- Автоматическая система подачи/отвода газов реализована на базе промышленного контроллера.
|
Система терморегулирования | - Контроль температуры по термоэлементу тип ТВР А1 (вольфрам – рениевые термопары);
- Система регулирования температуры реализована на базе устройства программируемого нагрева и контроля температуры изделий/рабочей зоны – промышленного контроллера (с архивированием данных и выводом на монитор ПК).
- Точность определения температуры печи и зоны нагрева определяется классом точности термопары (ТВР А1);
- Точность поддержания температуры в изотермическом режиме +/- 5С;
- Скорость нагрева: - от 0,25 до 10 °С/мин.
|
Источник питания печи | Источник питания печи состоит из кремниевого полупроводникового выпрямителя с ограничителем тока, понижающим трансформатором, автоматом, контактором, амперметром, вольтметром, световыми индикаторами. |
Комплект ЗИП |
|
ОПЦИЯ: Чиллер | Чиллер моноблочного исполнения, холодопроизводительностью в диапазоне от 28 до 70 кВт. |
