Ленгмюровский зонд с системой питания и измерения
Диагностическое оборудование
Устройство многоканальной регистрации и обработки потока однофотонных импульсов - EPOS-FM16
Диагностическое оборудование
Магнетроны
Источники напыления
Измерительная головка для четырёхзондового метода - EPOS-FPM
Диагностическое оборудование
Ионно-плазменные источники
Технологические вакуумные устройства
Диагностическое оборудование
Технологические вакуумные устройства
Источники напыления
Технологические вакуумные устройства