Технологические вакуумные устройства

Ионно-лучевое устройство - EPOS-END-HALL Ионно-плазменные источники

Электронно-лучевые испарители Источники напыления

Дуговой источник плазмы с холодным полым катодом - EPOS-ARC-ION Ионно-плазменные источники

Ионно-лучевой источник с анодным слоем - EPOS-IS-AL Ионно-плазменные источники

Дуговые испарители Источники напыления

Термические испарители Источники напыления

Ленгмюровский зонд с системой питания и измерения Диагностическое оборудование

Устройство многоканальной регистрации и обработки потока однофотонных импульсов - EPOS-FM16 Диагностическое оборудование

Магнетроны Источники напыления

Измерительная головка для четырёхзондового метода - EPOS-FPM Диагностическое оборудование

Ионно-плазменные источники Технологические вакуумные устройства

Диагностическое оборудование Технологические вакуумные устройства

Источники напыления Технологические вакуумные устройства