Ионно-лучевое устройство - EPOS-END-HALLИонно-плазменные источники
Электронно-лучевые испарителиИсточники напыления
Дуговой источник плазмы с холодным полым катодом - EPOS-ARC-IONИонно-плазменные источники
Ионно-лучевой источник с анодным слоем - EPOS-IS-ALИонно-плазменные источники
Дуговые испарителиИсточники напыления
Термические испарителиИсточники напыления