
Ионно-лучевое устройство - EPOS-END-HALLИонно-плазменные источники

Электронно-лучевые испарителиИсточники напыления

Дуговой источник плазмы с холодным полым катодом - EPOS-ARC-IONИонно-плазменные источники

Ионно-лучевой источник с анодным слоем - EPOS-IS-ALИонно-плазменные источники

Дуговые испарителиИсточники напыления

Термические испарителиИсточники напыления