Технологические вакуумные устройства

ЭЛИ с 6 тиглямиЭлектронно-лучевые испарители

ЭЛИ с 4 тиглямиЭлектронно-лучевые испарители

ЭЛИ с 1 тиглемЭлектронно-лучевые испарители

Ионно-лучевое устройство - EPOS-END-HALLИонно-плазменные источники

Дуговой источник плазмы с холодным полым катодом - EPOS-ARC-IONИонно-плазменные источники

Ионно-лучевой источник с анодным слоем - EPOS-IS-ALИонно-плазменные источники

Дуговые испарителиИсточники напыления

Термические испарителиИсточники напыления

Ленгмюровский зонд с системой питания и измеренияДиагностическое оборудование

Устройство многоканальной регистрации и обработки потока однофотонных импульсов - EPOS-FM16Диагностическое оборудование

МагнетроныИсточники напыления

Измерительная головка для четырёхзондового метода - EPOS-FPMДиагностическое оборудование