clock
Заказать звонок Мы вам перезвоним

Измерительная головка для четырёхзондового метода - EPOS-FPM

Назначение:

 

          Высокотемпературная измерительная головка предназначена для четырёх зондового метода регистрации поверхностного сопротивления тонких плёнок во время техпроцесса в вакууме.

Подробное описание оборудования

Скачать полное описание Скачать полное описание

Описание

 

          Измерительная головка содержит опорную систему и четыре игольчатых контакта, подпружиненных с заданным усилием. Соединение измерительной головки и вакуумного электрического ввода-разъема выполнено проводами с изоляцией, рассчитанной на использование в высоком вакууме и выдерживающей нагрев до 220 °С.

 

          Головка имеет возможность монтажа на манипулятор, обеспечивающий перемещение и контролируемое прижимное усилие.

 

          Наличие механических развязок исключает повреждение головки во время прижима и измерения.

 

          Штатив для измерения сопротивления образцов размером вне вакуумной камеры – опционально.

Технические характеристки

Количество контактов, шт.

4

Материал контактов

карбид вольфрама/ вольфрам

Радиус закругления контактов, мкм

не менее 100

Материал изоляции

керамика

Расстояние между осями контактов, мм

1,3

Расположение контактов

в линию (квадрат – опционально)

Максимальная температура эксплуатации, °С

500

 

Скачать полное описание