Высокотемпературная измерительная головка предназначена для четырёх зондового метода регистрации поверхностного сопротивления тонких плёнок во время техпроцесса в вакууме.
Скачать полное описание
Измерительная головка содержит опорную систему и четыре игольчатых контакта, подпружиненных с заданным усилием. Соединение измерительной головки и вакуумного электрического ввода-разъема выполнено проводами с изоляцией, рассчитанной на использование в высоком вакууме и выдерживающей нагрев до 220 °С.
Головка имеет возможность монтажа на манипулятор, обеспечивающий перемещение и контролируемое прижимное усилие.
Наличие механических развязок исключает повреждение головки во время прижима и измерения.
Штатив для измерения сопротивления образцов размером вне вакуумной камеры – опционально.
Технические характеристки
Количество контактов, шт. | 4 |
Материал контактов | карбид вольфрама/ вольфрам |
Радиус закругления контактов, мкм | не менее 100 |
Материал изоляции | керамика |
Расстояние между осями контактов, мм | 1,3 |
Расположение контактов | в линию (квадрат – опционально) |
Максимальная температура эксплуатации, °С | 500 |
