Компания производит круглые и протяженные планарные магнетроны с косвенным охлаждением мишени для систем напыления металлических и диэлектрических покрытий, в том числе для напыления магнитных материалов. Конструкция магнетронов позволяет их использовать в установках с высоким предельным вакуумом.
Технические характеристики
Модель магнетрона |
EPOS-MAG-50 |
EPOS-MAG-75 |
EPOS-MAG-1000 |
Диаметр мишеней |
50 |
75 |
100 |
Толщина мишеней |
от 3 мм до 6,5 мм |
||
Рабочее давление |
от 7∙10-2 до 10 Па |
||
Максимальная мощность |
не менее 700 Вт для RF режима, не менее 1000 Вт для DC режима |
||
Магнитная сборка |
SmCo или NdFeB магниты в защитной оболочке для предотвращения коррозии |
||
Материал корпуса |
Нержавеющая сталь AISI 304 |
||
Максимальная температура длительной работы магнетрона с охлаждением только области распыления |
140°С |
||
Максимальная температура прогрева магнетрона с охлаждением корпуса и области распыления (опционально) |
450°С |
||
Рабочая частота в ВЧ режиме |
13,56 МГц |
||
Узел для изменения угла направленности распыления |
опционально |
||
Монтажный фланец для установки магнетрона |
опционально |
||
Возможность регулирования высоты расположения магнетрона в вакууме |
наличие |
||
Возможность установки газового кольца (опционально) |
опционально |
||
Косвенное водяное охлаждение мишени |
наличие |