clock
Заказать звонок Мы вам перезвоним

Магнетроны

Назначение

 

          Компания производит круглые и протяженные планарные магнетроны с косвенным охлаждением мишени для систем напыления металлических и диэлектрических покрытий, в том числе для напыления магнитных материалов. Конструкция магнетронов позволяет их использовать в установках с высоким предельным вакуумом.

Подробное описание оборудования

Скачать полное описание Скачать полное описание

Круглый планарный магнетрон - EPOS-MAG-50/75/100

Основные преимущества наших магнетронов

  •  Специальная конструкция магнетрона дает возможность работы с ВЧ источником питания, что позволяет производить напыление с использованием диэлектрической мишени без добавления реактивных газов.
  •  Косвенное охлаждение мишени разрешает использование хрупких при нагреве материалов, что исключает попадания охлаждающей жидкости в камеру в случае возникновения трещин и разрешения мишени. При этом специальная технология сборки магнетрона – вакуумная пайка, дает преимущества в чистоте и предельно допустимом рабочем вакууме.
  •  Возможность регулировок по высоте и тонкой регулировке по углу наклона магнетрона, что дает дополнительные возможности при получении высокой равномерности покрытий.
  •  Прижим мишени осуществляется особым образом, что допускает использование не только стандартных мишеней, но и мишеней с повышенной или пониженной толщиной, что дает больше гибкости в выборе материалов для напыления.
  •  Наличие газового кольца для подачи рабочего газа непосредственно в область разряда увеличивает стабильность разряда и повторяемость процессов, что положительно сказывается на качестве итоговых покрытий.
  •  Использования магнитных сборок из специальных сплавов SmCo (Самарий-Кобальт) и неодим-железо-бор (NdFeB) дает высокую производительность распыления материалов и возможность напыления магнитных материалов, как железо, кобальт и никель и др. Для работы при повышенных окружающих температурах (например, при прогреве подложек до 8000С или прогреве камеры) компания предлагает магнетроны с дополнительно охлаждаемым корпусом.

Технические характеристики

 

Модель магнетрона

EPOS-MAG-50

EPOS-MAG-75

EPOS-MAG-1000

Диаметр мишеней

50

75

100

Толщина мишеней

от 3 мм до 6,5 мм

Рабочее давление

от 7∙10-2 до 10 Па

Максимальная мощность

не менее 700 Вт для RF режима,

не менее 1000 Вт для DC режима

Магнитная сборка

SmCo или NdFeB магниты в защитной оболочке для предотвращения коррозии

Материал корпуса

Нержавеющая сталь AISI 304

Максимальная температура длительной работы магнетрона с охлаждением только области распыления

140°С

Максимальная температура прогрева магнетрона с охлаждением корпуса и области распыления (опционально)

450°С

Рабочая частота в ВЧ режиме

13,56 МГц

Узел для изменения угла направленности распыления

опционально

Монтажный фланец для установки магнетрона

опционально

Возможность регулирования высоты расположения магнетрона в вакууме

наличие

Возможность установки газового кольца (опционально)

опционально

Косвенное водяное охлаждение мишени

наличие

 

 

Скачать полное описание