Круглый планарный магнетрон - EPOS-MAG-50/75/100
Основные преимущества наших магнетронов
- Специальная конструкция магнетрона дает возможность работы с ВЧ источником питания, что позволяет производить напыление с использованием диэлектрической мишени без добавления реактивных газов.
- Косвенное охлаждение мишени разрешает использование хрупких при нагреве материалов, что исключает попадания охлаждающей жидкости в камеру в случае возникновения трещин и разрешения мишени. При этом специальная технология сборки магнетрона – вакуумная пайка, дает преимущества в чистоте и предельно допустимом рабочем вакууме.
- Возможность регулировок по высоте и тонкой регулировке по углу наклона магнетрона, что дает дополнительные возможности при получении высокой равномерности покрытий.
- Прижим мишени осуществляется особым образом, что допускает использование не только стандартных мишеней, но и мишеней с повышенной или пониженной толщиной, что дает больше гибкости в выборе материалов для напыления.
- Наличие газового кольца для подачи рабочего газа непосредственно в область разряда увеличивает стабильность разряда и повторяемость процессов, что положительно сказывается на качестве итоговых покрытий.
- Использования магнитных сборок из специальных сплавов SmCo (Самарий-Кобальт) и неодим-железо-бор (NdFeB) дает высокую производительность распыления материалов и возможность напыления магнитных материалов, как железо, кобальт и никель и др. Для работы при повышенных окружающих температурах (например, при прогреве подложек до 8000С или прогреве камеры) компания предлагает магнетроны с дополнительно охлаждаемым корпусом.
Технические характеристики
Модель магнетрона | EPOS-MAG-50 | EPOS-MAG-75 | EPOS-MAG-1000 |
Диаметр мишеней | 50 | 75 | 100 |
Толщина мишеней | от 3 мм до 6,5 мм |
Рабочее давление | от 7∙10-2 до 10 Па |
Максимальная мощность | не менее 700 Вт для RF режима, не менее 1000 Вт для DC режима |
Магнитная сборка | SmCo или NdFeB магниты в защитной оболочке для предотвращения коррозии |
Материал корпуса | Нержавеющая сталь AISI 304 |
Максимальная температура длительной работы магнетрона с охлаждением только области распыления | 140°С |
Максимальная температура прогрева магнетрона с охлаждением корпуса и области распыления (опционально) | 450°С |
Рабочая частота в ВЧ режиме | 13,56 МГц |
Узел для изменения угла направленности распыления | опционально |
Монтажный фланец для установки магнетрона | опционально |
Возможность регулирования высоты расположения магнетрона в вакууме | наличие |
Возможность установки газового кольца (опционально) | опционально |
Косвенное водяное охлаждение мишени | наличие |
Скачать полное описание
