Установка для получения металлических и органических покрытий

Вакуумная напылительная установка  EPOS-PVD-LTE-BOX для лаборатории перспективной солнечной энергетики МИСиС, изготовлена для выполнения научного исследования «Широкоформатные полупрозрачные солнечные панели c использованием стабильных перовскитных архитектур», проводимого под руководством Ведущего ученого Альдо Ди Карло.

Установка предназначена для получения  металлических и органических покрытий методом термического испарения.

Чтобы работать с веществами, чувствительными к влаге и кислороду, спроектирована специальная конструкция установки, которая  даёт возможность комбинировать её с перчаточным боксом.

Вакуумная камера оснащена двумя дверями. Первая – с раздвижным механизмом для подключения к герметичному перчаточному боксу. Вторая предназначена для доступа внутрь камеры, обеспечения сервисного обслуживания.

Система снабжена высокотемпературным испарителем – танталовой лодочкой (2 ШТ). Собственная разработка компании  для OLED технологий – низкотемпературный испаритель с контролем температуры с точностью до 0,1 0С (2 ШТ) . Система крепления и позиционирования направленности распыления обеспечивает выставление положения источника по трем координатам с точностью до 0,5 мм.