Вакуумная напылительная установка EPOS-PVD-LTE-BOX для лаборатории перспективной солнечной энергетики МИСиС, изготовлена для выполнения научного исследования «Широкоформатные полупрозрачные солнечные панели c использованием стабильных перовскитных архитектур», проводимого под руководством Ведущего ученого Альдо Ди Карло.
Установка предназначена для получения металлических и органических покрытий методом термического испарения.
Чтобы работать с веществами, чувствительными к влаге и кислороду, спроектирована специальная конструкция установки, которая даёт возможность комбинировать её с перчаточным боксом.
Вакуумная камера оснащена двумя дверями. Первая – с раздвижным механизмом для подключения к герметичному перчаточному боксу. Вторая предназначена для доступа внутрь камеры, обеспечения сервисного обслуживания.
Система снабжена высокотемпературным испарителем – танталовой лодочкой (2 ШТ). Собственная разработка компании для OLED технологий – низкотемпературный испаритель с контролем температуры с точностью до 0,1 0С (2 ШТ) . Система крепления и позиционирования направленности распыления обеспечивает выставление положения источника по трем координатам с точностью до 0,5 мм.

Технические характеристики
Чичло испарителей, шт:
лодочка из тугоплавкого материала |
2 |
Объём испаряемого вещества, см3:
для лодочки из тугоплавкого материала |
1,5 |
Рабочая температура испарителей, °С:
лодочки из тугоплавкого материала |
50-1500 |
Индикация | ЖК дисплеи, монитор |
Максимальная рабочая температура наружной поверхности вакуумной камеры | не более 40°С |
Охлаждение | воздушное, водяное |
Входное напряжение | 380 В; 50 Гц |
Потребляемая мощность, кВт | не более 8 |
Общий габаритный размер, мм | 800*2000*1300 |
Масса установки, кг | не более 450 кг |
