Установка для получения металлических и органических покрытий - EPOS-PVD-LTE-BOX

Описание

          Установка была спроектирована для лаборатории перспективной солнечной энергетики НИТУ «МИСиС», изготовлена для выполнения научного исследования «Широкоформатные полупрозрачные солнечные панели c использованием стабильных перовскитных архитектур», проводимого под руководством ведущего ученого Альдо Ди Карло.

          Вакуумная камера установки оснащена двумя дверями. Первая – с раздвижным механизмом для подключения к герметичному перчаточному боксу. Вторая предназначена для доступа внутрь камеры, обеспечения сервисного обслуживания.

          Система снабжена высокотемпературным испарителем – танталовой лодочкой (2 шт.). Собственная разработка компании для OLED технологий – низкотемпературный испаритель с контролем температуры с точностью до 0,1°С (2 шт.). Система крепления и позиционирования направленности распыления обеспечивает выставление положения источника по трем координатам с точностью до 0,5 мм.

          Автоматизированная система откачки позволяет выводить установку с атмосферы на высокий вакуум для последующего нанесения покрытий. Полное управление техпроцессом осуществляется посредством авторского пользовательского интерфейса с возможностью записи и последующей загрузки сохранённых карт техпроцесса.

Технические характеристики