Вакуумная установка термического испарения VSE-TERMO-5

Назначение

Для реализации технологии нанесения металлических покрытий на образцы методом термического испарения в вакууме предлагаем Вам установку VSE-TERMO-5. Установка предназначена для нанесения плоских и трехмерных контактов на полупроводниковые структуры.

Отличительные особенности установки:

  • Криогенная высоковакуумная откачка:
  • Предельный вакуум 10-7 торр;
  • Температура первой ступени не выше 65-70 К (для конденсации водяных паров и «тяжелых» газов);
  • Температура второй ступени не выше 12 К (для конденсации азота, кислорода и аргона);
  • Удержание гелия, водорода и неона за счет криоадсорбции на активированном угле;
  • Визуальный контроль начала и конца процесса испарения исходных материалов (фиксирование начала и конца испарения);
  • Контроль температуры источника и подложки;
  • Регулировка тока испарителей автоматически по временной диаграмме;
  • Измерение плотности потока испаряемого вещества ионизационными датчиками;
  • Измерение, контроль толщины покрытий, с контролем ресурса датчика толщины покрытий.
Установка VSE-TERMO-5

Основные характеристики:

  • Поочередное напыление 4-х материалов за один технологический цикл;
  • Очистка подложки ионным источником в мягком режиме, без повреждения структуры на подложке с возможностью ионного ассистирования;
  • Установка до 6-и подложек диаметром 100 мм на съемный подложкодержатель, вращаемый шаговым двигателем;
  • Регистрация положения подложкодержателя по оптическим датчикам с точностью позиционирования до 1 мм;
  • Количество обрабатываемых подложек диаметром 100 мм на одной рабочей позиции - 1 шт.
  • Толщина покрытий от 10-2 до 10 мкм;
  • Однородность покрытий 3-5%;
  • Нагрев подложек до 200 °С, с системой контроля температуры (а также, системой блокировки от перегрева);
  • Расстояние от испарителя до подложки регулируется от 200 до 600 мм;
  • Потребляемая мощность 6 кВт;
  • Масса 1300 кг;
  • Габаритные размеры:
  • Установка без стойки управления 1000х1500х2000 мм;
  • Стойка управления 600х600х1000 мм;
  • Управление технологическим процессом в ручном и полуавтоматическом режимах.

При изготовлении установок мы используем комплектующие от ведущих мировых производителей вакуумного оборудования.