Вакуумная напылительная установка EPOS-PVD-LTE-BOX предназначена для получения металлических и органических покрытий методом термического испарения. Чтобы работать с веществами, чувствительными к влаге и кислороду, спроектирована специальная конструкция установки, которая даёт возможность комбинировать её с перчаточным боксом.
Скачать полное описание
Установка была спроектирована для лаборатории перспективной солнечной энергетики НИТУ «МИСиС», изготовлена для выполнения научного исследования «Широкоформатные полупрозрачные солнечные панели c использованием стабильных перовскитных архитектур», проводимого под руководством ведущего ученого Альдо Ди Карло.
Вакуумная камера установки оснащена двумя дверями. Первая – с раздвижным механизмом для подключения к герметичному перчаточному боксу. Вторая предназначена для доступа внутрь камеры, обеспечения сервисного обслуживания.
Система снабжена высокотемпературным испарителем – танталовой лодочкой (2 шт.). Собственная разработка компании для OLED технологий – низкотемпературный испаритель с контролем температуры с точностью до 0,1°С (2 шт.). Система крепления и позиционирования направленности распыления обеспечивает выставление положения источника по трем координатам с точностью до 0,5 мм.
Автоматизированная система откачки позволяет выводить установку с атмосферы на высокий вакуум для последующего нанесения покрытий. Полное управление техпроцессом осуществляется посредством авторского пользовательского интерфейса с возможностью записи и последующей загрузки сохранённых карт техпроцесса.
Технические характеристики
Число испарителей, шт.: лодочка из тугоплавкого материала | 2 |
Объём испаряемого вещества, см3: для лодочки из тугоплавкого материала | 1,5 |
Рабочая температура испарителей, °С: лодочки из тугоплавкого материала | 50-1500 |
Индикация | ЖК дисплеи, монитор |
Максимальная рабочая температура наружной поверхности вакуумной камеры | не более 40°С |
Охлаждение | воздушное, водяное |
Входное напряжение | 380 В; 50 Гц |
Потребляемая мощность, кВт | не более 8 |
Общий габаритный размер, мм | 800×2000×1300 |
Масса установки, кг | не более 450 |
