clock
Заказать звонок Мы вам перезвоним

Установка для получения металлических и органических покрытий - EPOS-PVD-LTE-BOX

Назначение

 

 

          Вакуумная напылительная установка EPOS-PVD-LTE-BOX предназначена для получения металлических и органических покрытий методом термического испарения. Чтобы работать с веществами, чувствительными к влаге и кислороду, спроектирована специальная конструкция установки, которая даёт возможность комбинировать её с перчаточным боксом.

Подробное описание оборудования

Скачать полное описание Скачать полное описание

Описание

 

          Установка была спроектирована для лаборатории перспективной солнечной энергетики НИТУ «МИСиС», изготовлена для выполнения научного исследования «Широкоформатные полупрозрачные солнечные панели c использованием стабильных перовскитных архитектур», проводимого под руководством ведущего ученого Альдо Ди Карло.

 

          Вакуумная камера установки оснащена двумя дверями. Первая – с раздвижным механизмом для подключения к герметичному перчаточному боксу. Вторая предназначена для доступа внутрь камеры, обеспечения сервисного обслуживания.

 

          Система снабжена высокотемпературным испарителем – танталовой лодочкой (2 шт.). Собственная разработка компании для OLED технологий – низкотемпературный испаритель с контролем температуры с точностью до 0,1°С (2 шт.). Система крепления и позиционирования направленности распыления обеспечивает выставление положения источника по трем координатам с точностью до 0,5 мм.

 

          Автоматизированная система откачки позволяет выводить установку с атмосферы на высокий вакуум для последующего нанесения покрытий. Полное управление техпроцессом осуществляется посредством авторского пользовательского интерфейса с возможностью записи и последующей загрузки сохранённых карт техпроцесса.

 

Технические характеристики

 

Число испарителей, шт.:

лодочка из тугоплавкого материала
низкотемпературный испаритель (LTE)

2
2

Объём испаряемого вещества, см3:

для лодочки из тугоплавкого материала
для низкотемпературного испарителя

1,5
4

Рабочая температура испарителей, °С:

лодочки из тугоплавкого материала
низкотемператуного испарителя

50-1500
50-500

Индикация

ЖК дисплеи, монитор

Максимальная рабочая температура наружной поверхности вакуумной камеры

не более 40°С

Охлаждение

воздушное, водяное

Входное напряжение

380 В; 50 Гц

Потребляемая мощность, кВт

не более 8

Общий габаритный размер, мм

800×2000×1300

Масса установки, кг

не более 450