clock
Заказать звонок Мы вам перезвоним

Вакуумная установка термического испарения - EPOS-PVD-TERMO-5

Назначение

 

          Установка EPOS-PVD-TERMO-5 предназначена для нанесения металлических покрытий на образцы методом термического испарения в вакууме, например, для нанесения плоских и трехмерных контактов на полупроводниковые структуры и многое другое.

Подробное описание оборудования

Скачать полное описание Скачать полное описание

Описание

 

Отличительные особенности установки:

  • Криогенная высоковакуумная откачка, предельный вакуум 10-7 торр, температура первой ступени не выше 65-70 К (для конденсации водяных паров и «тяжелых» газов), температура второй ступени не выше 12 К (для конденсации азота, кислорода и аргона), удержание гелия, водорода и неона за счет криоадсорбции на активированном угле;
  • Визуальный контроль начала и конца процесса испарения исходных материалов (фиксирование начала и конца испарения);
  • Контроль температуры источника и подложки;
  • Регулировка тока испарителей автоматически по временной диаграмме;
  • Измерение плотности потока испаряемого вещества ионизационными датчиками;
  • Измерение толщины покрытий, с контролем ресурса датчика толщины покрытий;
  • Четыре термических испарителя (поочередное напыление 4-х материалов за один технологический цикл);
  • Установка до 6-и подложек диаметром 100 мм на съемный подложкодержатель, вращаемый шаговым двигателем;
  • Регистрация положения подложкодержателя по оптическим датчикам с точностью позиционирования до 1 мм;
  • Очистка подложки ионным источником в мягком режиме, без повреждения структуры на подложке с возможностью ионного ассистирования.

          При изготовлении установок мы используем комплектующие от ведущих мировых производителей вакуумного оборудования.

 

Технические характеристики

 

Количество термических испарителей, шт.

4

Толщина покрытий, мкм

от 10-2 до 10

Однородность покрытий, %

3—5

Температура нагрева подложек, °С

до 200

Расстояние от испарителя до подложки, мм

200—600

Потребляемая мощность, кВт

6

Масса, кг

1300

Габаритные размеры без стойки управления (Д×Ш×В), мм

1000×1500×2000

Габаритные размеры стойки управления (Д×Ш×В), мм

600×600×1000

Система управления технологическим процессом

в ручном и полуавтоматическом режимах