Установка EPOS-PVD-TERMO-5 предназначена для нанесения металлических покрытий на образцы методом термического испарения в вакууме, например, для нанесения плоских и трехмерных контактов на полупроводниковые структуры и многое другое.
Отличительные особенности установки:
При изготовлении установок мы используем комплектующие от ведущих мировых производителей вакуумного оборудования.
Технические характеристики
Количество термических испарителей, шт. |
4 |
Толщина покрытий, мкм |
от 10-2 до 10 |
Однородность покрытий, % |
3—5 |
Температура нагрева подложек, °С |
до 200 |
Расстояние от испарителя до подложки, мм |
200—600 |
Потребляемая мощность, кВт |
6 |
Масса, кг |
1300 |
Габаритные размеры без стойки управления (Д×Ш×В), мм |
1000×1500×2000 |
Габаритные размеры стойки управления (Д×Ш×В), мм |
600×600×1000 |
Система управления технологическим процессом |
в ручном и полуавтоматическом режимах |