Дуговой источник плазмы с холодным полым катодом - EPOS-ARC-ION

Назначение

          Дуговой источник плазмы с холодным полым катодом разработки «ЭПОС-Инжиниринг» обеспечивает очистку, травление, удаление дефектных слоев, активацию поверхностей и обладает следующими отличительными и преимущественными характеристиками:

• В составе источника отсутствуют термоэлементы;
• Источник обладает простой конструкцией, что обеспечивает быструю замену изношенных элементов на новые и предоставляет возможность изготовления их на месте у Заказчика.

По установочным габаритам полый-катод-ионизатор совместим с установками дугового напыления и упрочнения ННВ-6.6.

Описание

          Дуговой источник плазмы подключается к собственному специальному блоку питания, который регулирует ток, напряжение разряда и расход плазмообразующего газа. Автоматика блока осуществляет автоматический поджиг тлеющего разряда с его последующим переходом в дуговой и его поддержание в процессе работы источника плазмы по специально разработанному алгоритму.

Источник оснащен магнитной системой, включающей два соленоида.

          Дуговой источник плазмы с холодным полым катодом EPOS-ARC-ION обеспечивает обработку деталей плотной «обволакивающей» аргоновой плазмой, а при подаче импульсного напряжения смещения на стол эффективное травление поверхностных слоев.

Технические характеристики

Рабочий ток, А - 100—250;

Рабочее напряжение, В - 30—100;

Подводимая мощность, кВт - 6—10; 

Давление рабочего газа, Па - 0,1—1.

Скачать полное описание