Электронно-лучевые испарители
ООО «ЭПОС-Инжиниринг» предлагает электронно-лучевые испарители EPOS-BEAM, предназначенные для промышленного получения тонких пленок металлов, полупроводников и диэлектриков на твердых подложках. Рекомендуемая система характеризуется простотой в управлении и высоким качеством напыления.
Принцип работы:
Электронно-лучевой испаритель работает на основе фокусированного электронного луча, который направляется на материал в виде гранул, кусочков, проволоки, дисков и др., помещенный в охлаждаемый тигель. Плотность энергии электронов в фокусном пятне луча настолько высока, что она приводит к испарению атомов или молекул даже самых тугоплавких материалов. Испаренный материал затем осаждается на поверхность подложки, которая находится в вакуумной камере, образуя тонкую пленку.
Применение:
- -Производство полупроводников: Нанесение металлических контактов, проводников и диэлектриков в микросхемах.
- -Оптическая промышленность: Нанесение отражающих и многослойных интерференционных покрытий на оптические компоненты, например, линзы и зеркала.
- -Аэрокосмическая промышленность: Нанесение защитных покрытий на детали космических аппаратов, которые должны выдерживать экстремальные условия.
- -Медицинская промышленность: Нанесение биосовместимых покрытий на медицинские имплантаты и инструменты.
- -Передовые научные исследования: Формирование различных функциональных слоев, молекулярная эпитаксия, наноплазмоника…
Преимущества:
- -Высокая производительность: Электронно-лучевые испарители способны напылять на большие площади, что повышает производительность процесса.
- -Высокая чистота: Электронный луч работает в высоком вакууме, без необходимости использовать газы, что гарантирует чистоту процесса и отсутствие загрязнений.
- -Универсальность: Электронно-лучевые испарители могут быть использованы для испарения различных материалов, включая металлы, сплавы, керамику и композиты.
- -Контролируемость и большой диапазон регулировки скорости испарения: возможность тонко регулировать мощность в фокусе пучка в диапазоне от 0 до 10 кВт и контролируемо перемещать положение фокуса пучка по тиглю позволяет испарять как легкоплавкие, сублимирующие, так и самые тугоплавкие материалы за один цикл из многотигельного испарителя, получать пленки от 1 нм до 20 мкм.
ЭЛИ с 6 тиглямиЭлектронно-лучевые испарители
ЭЛИ с 4 тиглямиЭлектронно-лучевые испарители
ЭЛИ с 1 тиглемЭлектронно-лучевые испарители
