Измерительная головка для in situ четырёхзондового метода

Измерительная головка для in situ четырёхзондового метода
Измерительная головка для in situ четырёхзондового метода

Назначение:

Высокотемпературная измерительная головка предназначена для четырёх зондового метода регистрации поверхностного сопротивления тонких плёнок во время техпроцесса в вакууме.

Характеристики:

  • Количество контактов: 4 шт
  • Материал контактов: карбид вольфрама/ вольфрам.
  • Игольчатые контакты подпружинены с заданным усилием.
  • Радиус закругления контактов: не менее 100 мкм
  • Материал изоляции: керамика.
  • Расстояние между осями контактов: 1,3 мм.
  • Расположение контактов – в линию (квадрат – опционально).
  • Измерительная головка допускает нагрев в вакууме до 500 °С.
  • Соединение измерительной головки и электрического разъема выполнено проводами с изоляцией, рассчитанной на использование в высоком вакууме и выдерживающей нагрев до 220 °С.
  • Головка имеет возможность монтажа на манипулятор, обеспечивающем перемещение и контролируемое прижимное усилие.
  • Наличие механических развязок исключает повреждение головки во время прижима и измерения.
  • Штатив для измерения сопротивления образцов размером вне вакуумной камеры – опционально.